TaC dengtas susceptorius

Semicorex TaC padengtas susceptorius, pagamintas iš grafito pagrindo medžiagos, yra padengtas tantalo karbidu (TaC), kad pagerintų jo veikimą ir ilgaamžiškumą.

Tantalo karbidas pasižymi išskirtiniu šiluminiu stabilumu, todėl TaC padengtas susceptorius gali atlaikyti itin aukštas temperatūras, dažnai pasitaikančias tokiuose procesuose kaip cheminis nusodinimas iš garų (CVD) ir fizinis nusodinimas iš garų (PVD). TaC danga užtikrina puikų atsparumą cheminėms reakcijoms, oksidacijai ir korozijai, o tai labai svarbu norint išlaikyti vientisumą ir veikimą atšiaurioje cheminėje aplinkoje.

Vienodos ir stabilios TaC Coated Susceptor šiluminės savybės pagerina procesų, kuriuose jie naudojami, nuoseklumą ir kokybę, todėl puslaidininkių gamybos išeiga ir efektyvumas yra geresnis.

Tuo tarpu naudojant TaC padengtą susceptorių TaC sumažinama puslaidininkių procesų užteršimo rizika, o tai labai svarbu gaminant labai grynus ir be defektų elektroninius komponentus.

TaC padengto susceptoriaus pritaikymas:

Puslaidininkių gamyba: naudojamas CVD ir PVD procesuose plonoms plėvelėms ir epitaksiniams sluoksniams nusodinti ant puslaidininkinių plokštelių.

LED gamyba: naudojamas šviesos diodų (LED) gamyboje, kur reikalingos tikslios ir stabilios šiluminės sąlygos.

Saulės elementų gamyba: Naudojamas fotovoltinių elementų gamyboje, siekiant padidinti efektyvumą ir patikimumą.

Semicorex TaC padengtas susceptorius yra labai svarbus pažangiuose gamybos procesuose, kur reikalingas didelis terminis stabilumas, cheminis atsparumas ir ilgaamžiškumas. Jų taikymas užtikrina geresnį našumą, ilgaamžiškumą ir produktų kokybę aukštųjų technologijų pramonėje.