TaC padengtas sandarinimo žiedas

Semicorex TaC padengtas sandarinimo žiedas pasižymi išskirtiniu inertiškumu daugeliui korozinių dujų ir cheminių medžiagų, naudojamų puslaidininkių procesuose, įskaitant plazmos ėsdinimo chemines medžiagas (pvz., fluorą, chlorą, bromą), priedus (pvz., borą, fosforą, arseną) ir agresyvias medžiagas. valymo priemonės. Šis inertiškumas apsaugo nuo sandariklio degradacijos ir jautrių proceso kamerų užteršimo.

Lydymosi temperatūra viršija 3800°C, TaC padengtas sandarinimo žiedas išlaiko savo struktūrinį vientisumą ir mechaninį stiprumą esant aukštesnėms temperatūroms, su kuriomis susiduriama apdorojant plokšteles. Tai užtikrina patikimą sandarinimo veikimą aukštos temperatūros atkaitinimo, nusodinimo ir ėsdinimo procesų metu.

TaC padengto sandarinimo žiedo ypatingas kietumas ir mažas trinties koeficientas užtikrina išskirtinį atsparumą dilimui, įbrėžimams ir trinčiai. Tai labai svarbu taikant dinaminį sandarinimą, kai pakartotinis judėjimas arba kontaktas su plokštelėmis ir kitais komponentais gali sukelti dalelių susidarymą ir sandariklio gedimą.

TaC padengtas sandarinimo žiedas pasižymi labai mažu dujų išsiskyrimo greičiu, net esant aukštesnei temperatūrai, todėl jie idealiai tinka naudoti aukštame vakuume. Tai užtikrina proceso grynumą ir apsaugo nuo nepageidaujamų teršalų nusėdimo ant jautrių plokštelių paviršių.

Konkretūs puslaidininkių privalumai:

Pailgintas sandariklio tarnavimo laikas:TaC padengtas sandarinimo žiedas žymiai padidina sandariklio tarnavimo laiką, nes užtikrina puikų atsparumą cheminiam poveikiui, terminiam skilimui ir mechaniniam susidėvėjimui. Tai sumažina sandariklių keitimo dažnumą, sumažina prastovų ir priežiūros išlaidas.

Pagerinta proceso išeiga ir plokštelių kokybė:Inertiškas TaC padengto sandarinimo žiedo pobūdis sumažina dalelių susidarymą ir užteršimą, todėl padidėja proceso išeiga ir gerėja plokštelių kokybė. Tai labai svarbu gaminant didelio našumo puslaidininkinius įtaisus su griežtais defektų nuokrypiais.

Patobulintas įrangos veikimo laikas ir našumas:Ilgesnis sandariklio tarnavimo laikas ir mažesni priežiūros reikalavimai padidina įrangos veikimo laiką ir padidina bendrą produktyvumą. Tai labai svarbu siekiant maksimaliai padidinti našumą ir patenkinti didelės apimties puslaidininkių gamybos poreikius.