TaC dengtos grafito dalys

Semicorex TaC padengtos grafito dalys yra pagamintos iš didelio grynumo izostatinio grafito ir padengtos tantalo karbidu (TaC), kuris užtikrina neprilygstamą atsparumą ekstremalioms temperatūroms. TaC padengtos grafito dalys yra sukurtos taip, kad atlaikytų griežtas puslaidininkių gamybos sąlygas ir puikiai pagerintų įvairius procesus, būtinus aukštos kokybės puslaidininkinių gaminių gamybai. Jų išskirtinis atsparumas karščiui užtikrina patikimumą ir ilgaamžiškumą net ir sunkiausioje šiluminėje aplinkoje.

TaC dengtos grafito dalys atlieka pagrindinį vaidmenį optimizuojant pagrindinius puslaidininkių apdorojimo būdus, įskaitant difuzijos procesus, oksidacinį atkaitinimą, LPCVD ir PECVD. Palengvindamos tikslią temperatūros kontrolę ir užtikrindamos pagrindo vienodumą, TaC padengtos grafito dalys labai prisideda prie gaminių kokybės ir gamybos efektyvumo gerinimo.

Semicorex TaC padengtos grafito dalys yra sukurtos taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus. Nuo difuzijos procesų tobulinimo iki įvairių nusodinimo metodų kokybės ir efektyvumo gerinimo, TaC padengtos grafito dalys yra nepakeičiamas turtas siekiant puslaidininkių gamybos meistriškumo.