Susceptorius su tinkleliu

Semicorex Susceptor with Grid yra specializuotas komponentas, naudojamas puslaidininkinių plokštelių epitaksinio augimo procese. Ši svarbi įranga skirta nešti ir palaikyti plokšteles nusodinant medžiagas metalo organinio cheminio garų nusodinimo (MOCVD) sistemoje. Susceptorius su tinkleliu atlieka pagrindinį vaidmenį užtikrinant vienodą ir kontroliuojamą epitaksinių sluoksnių augimą puslaidininkinėje plokštelėje.

Susceptor with Grid yra pagamintas iš medžiagų, optimizuotų jo funkcijai. Šiuo atveju jis pagamintas iš MOCVD SiC (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) padengto grafito. Toks medžiagų pasirinkimas suteikia keletą privalumų, įskaitant atsparumą aukštai temperatūrai, cheminį stabilumą ir puikų šilumos laidumą. SiC danga ant grafito padidina susceptoriaus patvarumą ir atsparumą atšiaurioms sąlygoms, su kuriomis susiduriama epitaksinio augimo proceso metu.

Susceptorius su tinklelio struktūra yra puslaidininkinių plokštelių atraminis mechanizmas. Jis yra strategiškai suprojektuotas taip, kad tvirtai laikytų plokšteles, tuo pačiu užtikrinant efektyvų dujų srautą ir vienodą medžiagų nusodinimą. Tinklelio raštas padeda tolygiai paskirstyti šilumą ir reagentus per plokštelės paviršių, taip padedant tiksliai kontroliuoti epitaksinio sluoksnio storį ir sudėtį.

„Semicorex“ susceptorius su tinkleliu yra svarbus komponentas pažangių puslaidininkinių įtaisų gamybos procese. Dėl tvirtos konstrukcijos ir specializuotos konstrukcijos jis yra esminis įrankis norint pasiekti aukštos kokybės epitaksinį augimą, užtikrinantį puikų našumą ir patikimumą puslaidininkių gamybą.