Saulės grafito valtis

„Semicorex Solar Graphite Boat“ yra patikima platforma puslaidininkinių plokštelių laikymui įvairių terminių procesų, tokių kaip atkaitinimo, difuzijos ir nusodinimo, metu. Dėl tvirtos konstrukcijos ir išskirtinio atsparumo karščiui „Solar Graphite Boat“ yra nepakeičiamas įrankis puslaidininkių gamyboje, tyrimų laboratorijose ir kitose pažangios pramonės srityse.

Sukurta atsižvelgiant į universalumą, saulės grafito valtis gali būti pritaikyta pagal konkrečius klientų poreikius. Nesvarbu, ar padengta silicio karbidu (SiC), kad būtų padidintas ilgaamžiškumas ir atsparumas cheminei korozijai, ar nepadengtas, kai svarbiausia yra grynumas, kiekviena saulės grafito valtis yra kruopščiai sukurta, kad būtų užtikrintas pastovus veikimas ir ilgaamžiškumas.

Pagrindinės saulės grafito valties savybės:

Išskirtinis terminis stabilumas: atlaiko ekstremalias puslaidininkių apdirbimo temperatūras, todėl užtikrina vienodą šilumos paskirstymą ir tikslią šiluminių ciklų valdymą.

Aukšto grynumo grafito konstrukcija: Pagaminta iš aukščiausios kokybės grafito medžiagų, siekiant sumažinti užterštumą ir išlaikyti puslaidininkinių plokštelių vientisumą.

Tiksli inžinerija: suprojektuota taip, kad būtų galima pritaikyti įvairių dydžių ir konfigūracijų plokšteles, su tiksliais matmenimis ir paviršiaus apdaila, kad būtų užtikrintas saugus valdymas ir minimalus plokštelių pažeidimas.

TaC dengtos grafito dalys atlieka pagrindinį vaidmenį optimizuojant pagrindinius puslaidininkių apdorojimo būdus, įskaitant difuzijos procesus, oksidacijos atkaitinimą, žemo slėgio cheminį nusodinimą iš garų (LPCVD) ir plazmos sustiprintą cheminį nusodinimą garais (PECVD). Palengvindamos tikslią temperatūros kontrolę ir užtikrindamos pagrindo vienodumą, TaC padengtos grafito dalys labai prisideda prie gaminių kokybės ir gamybos efektyvumo gerinimo.

Semicorex TaC padengtos grafito dalys yra kruopščiai suprojektuotos taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus. Nuo difuzijos procesų tobulinimo iki įvairių nusodinimo metodų kokybės ir efektyvumo gerinimo, TaC padengtos grafito dalys yra nepakeičiamas turtas siekiant puslaidininkių gamybos meistriškumo.