> Produktai > Keramika > Silicio karbidas (SiC) > Silicio karbido keraminė vaflių valtis

Produktai

Nauji produktai

Silicio karbido keraminė vaflių valtis

„Semicorex“ teikia plokštelių valtis, pjedestalus ir pasirinktinius plokštelių laikiklius tiek vertikaliai / stulpeliui, tiek horizontaliai. Jau daugelį metų esame silicio karbido dengimo plėvelės gamintojai ir tiekėjai. Mūsų silicio karbido keraminė valtis turi gerą kainos pranašumą ir apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Semicorex silicio karbido keraminė plokštelė – geriausias sprendimas plokštelių tvarkymui ir apsaugai puslaidininkių gamyboje.
Mūsų silicio karbido keraminė valtis yra pagaminta iš aukštos kokybės medžiagos, padengtos silicio karbido (SiC) sluoksniu, taikytu CVD metodu, kuris pasižymi geru atsparumu korozijai ir puikiu atsparumu aukštai temperatūrai bei šiluminiam smūgiui. Pažangi keramika užtikrina puikią šiluminę varžą ir plazmos ilgaamžiškumą, tuo pačiu sumažindama dalelių ir teršalų kiekį didelės talpos plokštelių laikikliuose.

Silicio karbido keraminės valties parametrai

Techninės savybės
Rodyklė	Vienetas	Vertė
Medžiagos pavadinimas		Reakcinis sukepintas silicio karbidas	Beslėgis sukepintas silicio karbidas	Rekristalizuotas silicio karbidas
Sudėtis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Tūrinis tankis	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Lankstumo stiprumas	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80–90 (20 °C) 90–100 (1400 °C)
Suspaudimo stiprumas	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kietumas	Mygtukas	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Šilumos laidumas	W/m.k	95	120	23
Šiluminio plėtimosi koeficientas	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifinė šiluma	Džaulis/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimali oro temperatūra	℃	1200	1500	1600
Elastinis modulis	Gpa	360	410	240

Skirtumas tarp SSiC ir RBSiC:

1. Sukepinimo procesas skiriasi. RBSiC turi prasiskverbti laisvą Si į silicio karbidą žemoje temperatūroje, SSiC susidaro natūraliai susitraukiant 2100 laipsnių temperatūroje.

2. SSiC turi lygesnį paviršių, didesnį tankį ir didesnį stiprumą, kai kuriems sandarinimams, kuriems taikomi griežtesni paviršiaus reikalavimai, SSiC bus geresnis.

3. Skirtingas naudojimo laikas esant skirtingam PH ir temperatūrai, SSiC yra ilgesnis nei RBSiC

Silicio karbido keraminės valties savybės

Aukščiausias atsparumas karščiui ir šiluminis vienodumas
Smulkiu SiC kristalu padengtas lygiam paviršiui
Didelis atsparumas cheminiam valymui
Medžiaga sukurta taip, kad neatsirastų įtrūkimų ir delaminacijos.