Silicio karbido valtys

„Semicorex Silicon“ karbido valtys pasižymi išskirtiniu šiluminio stabilumu, leidžiančiu jiems atlaikyti ekstremalią temperatūrą, reikalingą oksidacijos ir difuzijos procesams. Jų puikus atsparumas šiluminiam šokui sumažina įtrūkimo ar deformacijos riziką, užtikrinant ilgalaikį operacinį ilgaamžiškumą. Didelio tankio SIC kompozicija suteikia puikų mechaninį stiprumą, palaikant struktūrinį vientisumą net esant nuolatiniam šiluminiam ciklui. Šis išskirtinis atsparumas mechaniniam stresui sumažina vaflių užteršimo ir lūžio tikimybę, todėl padidėja didesnis proceso pajamingumas. Be to, SIC valtys turi puikų cheminį atsparumą, likusių inertinėms agresyvioms proceso dujoms, naudojamoms oksidacijos ir difuzijos etapuose. Ši savybė apsaugo nuo nepageidaujamų reakcijų, kurios gali pakenkti vaflių grynumui ir gamybos efektyvumui.

Silicio karbido valtys pirmiausia naudojamos oksidacijos ir difuzijos krosnyse, kai būtina tiksliai valdyti vaflių poveikį aukštai temperatūrai ir reaktyviosioms dujoms. Šiluminio oksidacijos metu jie palaiko vaflius, kad augintų aukštos kokybės silicio dioksido sluoksnius ir palengvintų vienodą dopimą kontroliuojant dopantinių dujų poveikį. Be to, jie suteikia stabilią atkaitinimo platformą ir kitus aukštos temperatūros procedūras, kurioms reikalingas ilgalaikis šilumos poveikis.

Palyginti su tradiciniais kvarcais ir grafito valtimis, silicio karbido valtys siūlo neprilygstamą ilgaamžiškumą, ilgaamžiškumą ir našumą. Dėl jų gebėjimo atlaikyti atšiaurią šiluminę ir cheminę aplinką, tuo pačiu sumažinant užterštumą, jie yra tinkamiausias pasirinkimas didelio tikslumo puslaidininkių gamybai. Daugiausia dėmesio skiriant kokybei ir inovacijoms, mūsų silicio karbido valtys užtikrina puikų našumą, užtikrinant didelį derlių ir efektyvų vaflių apdorojimą puslaidininkių gamintojams visame pasaulyje. Nesvarbu, ar tai būtų pažangios mazgų technologijos, ar senas puslaidininkių gaminimas, šios valtys yra patikimas sprendimas patenkinti griežtus pramonės reikalavimus.

(1) Nešiojimas ir apsauga: Silicio karbido valtys per vidinius laikiklius ar lizdus neša puslaidininkių medžiagas, tokias kaip plokštelės, ir naudoja silicio karbido medžiagų aukštą temperatūrą ir koroziją, kad apsaugotų vaflius nuo išorinės aplinkos.

(2) Vienodas šildymas: Silicio karbido valtis leidžia terminio apdorojimo metu tolygiai kaitinamas vaflius. Tai padeda užtikrinti, kad terminio apdorojimo proceso metu kiekvienos vaflinio dalies temperatūra ir reakcijos greitis išliks vientisas, taip pagerinant vaflio išeigą ir kokybę.

Šiuo metu yra trys pagrindiniai tipaiSilicio karbido keramikaMedžiagos: reakcijos sukepinimas, be reikalo sukepinimas ir sukepinimo perkristalizavimas. Daugelyje programų reakcija sukepinto silicio karbido yra tinkamesnis ir ekonomiškesnis produktas. Perkristalizuotos SiC valtys paprastai sukepina ir pirmiausia apdoroja keletą vienetų dalių, tada naudokite SI pastą, kad sujungtumėte dalis į valtį aukštoje temperatūroje, ir galiausiai tepkite CVD-SIC dangą (apie 100um). Kadangi perkristalizacija yra porėta, jei nėra SIC dangos, ji taip pat įves į puslaidininkių procesą. Šio tipo perkristalizuota SIC valtis su CVD-SIC danga turi ilgiausią gamybos procesą ir yra labai brangi. Palyginti su SIC dengtais grafito valtimis, CVD-SIC padengtos perkristalizuotos SIC valtys neturi CTE neatitikimo problemos.