Semicorex SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai yra labai svarbūs pažangios puslaidininkių gamybos įtaisai, tenkinantys didėjančius tikslumo, švaros ir našumo reikalavimus. Dėl puikių medžiagų savybių gaunama apčiuopiama nauda per visą plokštelių gamybos procesą, galiausiai prisidedant prie didesnio derlingumo, geresnio įrenginio veikimo ir mažesnių bendrų gamybos sąnaudų. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti didelio našumo SiC plokštelių tikrinimo griebtuvus, kurie suderina kokybę ir ekonomiškumą.**
Semicorex SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai keičia puslaidininkinių plokštelių tvarkymo ir tikrinimo procesus, siūlydami neprilygstamą našumą ir patikimumą, palyginti su įprastomis medžiagomis. Čia išsamiai apžvelgiami pagrindiniai jų pranašumai:
1. Padidintas patvarumas ir ilgaamžiškumas:
Išskirtinis SiC kietumas ir cheminis inertiškumas užtikrina puikų patvarumą ir ilgaamžiškumą. Šie SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai atlaiko nuolatinį plokštelių apdorojimo sunkumą, nesibraižo ir nesutrūkinėja dėl sąlyčio su gležnais plokštelės kraštais ir išlaiko savo struktūrinį vientisumą net ir atšiaurioje cheminėje aplinkoje, su kuria dažnai susiduriama apdorojant puslaidininkius. Dėl šio pailgėjusio tarnavimo laiko sumažėja pakeitimo išlaidos ir sumažinamos gamybos prastovos.
2. Bekompromisis matmenų stabilumas:
Tikslios plokštelės padėties palaikymas yra itin svarbus siekiant tikslios patikros ir didelio našumo. SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai pasižymi nereikšmingu terminiu plėtimusi ir susitraukimu plačiame temperatūrų diapazone, todėl užtikrina pastovų matmenų stabilumą net esant aukštai temperatūrai. Šis stabilumas garantuoja pakartojamus ir patikimus patikrinimo rezultatus, prisidedant prie griežtesnės proceso kontrolės ir geresnio įrenginio veikimo.
3. Itin plokštumas ir glotnumas puikiam vaflių kontaktui:
SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai yra pagaminti pagal neįtikėtinai griežtus leistinus nuokrypius, todėl pasiekiami itin lygūs ir lygūs paviršiai, būtini optimaliam plokštelių kontaktui. Tai sumažina plokštelės įtempimą ir iškraipymą tvarkant, užkertant kelią galimiems defektams ir išeigos nuostoliams. Be to, lygus paviršius sumažina dalelių susidarymą ir įstrigimą, užtikrinant švaresnę proceso aplinką ir sumažinant defektus, perkeliamus ant plokštelės paviršiaus.
4. Saugus ir patikimas vakuuminis laikymas:
SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai leidžia saugiai ir patikimai laikyti plokšteles vakuume tikrinant ir apdorojant. Medžiagai būdingas poringumas gali būti tiksliai suprojektuotas, kad būtų sukurti vienodi vakuuminiai kanalai visame griebtuvo paviršiuje, užtikrinant nuoseklų plokštelės plokštumą ir saugų laikymąsi be slydimo. Šis saugus laikymas yra labai svarbus atliekant didelio tikslumo patikrinimą ir apdorojimą, kad būtų išvengta judėjimo sukeltų klaidų ir defektų.
5. Minimalus užteršimas galinės pusės dalelėmis:
Galinės pusės dalelių užterštumas kelia didelę grėsmę plokštelių išeigai ir įrenginio veikimui. SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai dažnai turi žemo paviršiaus kontaktų konstrukciją su strategiškai išdėstytomis vakuuminėmis angomis arba grioveliais. Tai sumažina griebtuvo ir plokštelės užpakalinės dalies sąlyčio plotą ir žymiai sumažina dalelių susidarymo ir pernešimo riziką.
6. Lengvas dizainas geresniam valdymui ir našumui:
Nepaisant išskirtinio standumo ir stiprumo, SiC plokštelių tikrinimo griebtuvai yra stebėtinai lengvi. Dėl šios sumažintos masės spartesnis ir lėtesnis etapas, leidžiantis greičiau indeksuoti plokšteles ir pagerinti bendrą pralaidumą. Lengvi griebtuvai taip pat sumažina robotų valdymo sistemų susidėvėjimą ir dar labiau sumažina priežiūros reikalavimus.
7. Ypatingas atsparumas dėvėjimuisi prailginant eksploatavimo laiką:
Išskirtinis SiC kietumas ir atsparumas dilimui užtikrina ilgesnį šių svarbių komponentų eksploatavimo laiką. Jie atsparūs dilimui dėl pasikartojančio sąlyčio su plokštelėmis ir atlaiko atšiaurias valymo chemines medžiagas, ilgą laiką išlaikydami paviršiaus vientisumą ir veikimą. Dėl tokio ilgaamžiškumo sumažėja techninė priežiūra, mažesnės nuosavybės išlaidos ir padidėja bendras našumas.