SiC vaflių kasetė

Semicorex SiC plokštelių kasetė, taip pat žinoma kaip plytelių vaflių valtis, buvo sukurta specialiai oksidacijos, difuzijos ir atkaitinimo operacijoms aukštesnėje nei 1200 °C temperatūroje. Kasetės suteikia didelę mechaninę atramą, taip pat išlygiuoja daug plokštelių vienu metu naudojant aukštos temperatūros krosnį, taip pat pasižymi dideliu mechaniniu ir matmenų stabilumu šiluminio įtempio metu ir po jo.  Itin grynų ir termiškai stabilių medžiagų, skirtų plokštelių tvarkymo sistemoms, poreikis didėja, nes puslaidininkių įtaisų dydis mažėja ir našumas didėja.

Kasetė pagaminta iš didelio grynumosilicio karbidas, taip pat yra dangų, kurias galima tepti ir gauti dar daugiau naudos. SiC pasižymi puikiu šiluminio smūgio, korozijos ir matmenų deformacijos stabilumu.  SiC turi unikalų kietumą, cheminį inertiškumą ir šilumos laidumą, todėl yra ideali medžiaga šioje proceso aplinkoje. SiC, palyginti su kvarco ir aliuminio oksido alternatyvomis, nesumažės jo mechaninių ir cheminių savybių esant aukštai apdorojimo temperatūrai, taip sumažinant užteršimo riziką ir pagerinant plokštelių proceso vienodumą gamybos procesų metu.

Itin aukšto grynumo SiC plokštelių kasetė pasižymi atsparumu metaliniams arba joniniams teršalams, patenkantiems į proceso kamerą; kažkas, kas yra būtina siekiant didelio grynumo, kad atitiktų pažangių puslaidininkių gamybos procesų proceso reikalavimus. Sumažinus teršalų šaltinius, silicio karbido kasetės padidins plokštelių išeigą ir įrenginio patikimumą.

Semicorex precizinio apdirbimo technologija leidžia gaminti kiekvieną kasetę su griežtais nuokrypiais, vienodu plyšio žingsniu ir lygiagrečiai išlygiuoti. Tikslus medžiagų apdirbimas užtikrina sklandų plokštelių pakrovimą ir iškrovimą, o tai sumažina įbrėžimų tikimybę tvarkant plokšteles. Tikslus plyšių atstumas užtikrina vienodą temperatūrą ir oro srautą visose plokštelėse, o tai skatina vienodą oksidaciją ir difuziją, tuo pačiu sumažinant proceso kintamumą.

SiC pasižymi puikiu šilumos laidumu, matmenų stabilumu ir užtikrina patikimą veikimą kartojant šiluminį ciklą. Medžiaga yra stabili, nesikreipta ir netrūkinėja; didelis standumas išlaiko struktūrinį vientisumą esant aukštai temperatūrai ilgą laiką, ženkliai sumažindamas plokštelių mechaninį įtempimą, tuo pačiu sumažindamas nepageidaujamų dalelių atsiradimo dėl trinties ar mikrovibracijos tikimybę.

Be to,SiCInertiškumas cheminėms medžiagoms apsaugo plokšteles nuo reakcijos į proceso dujas (pvz., deguonį, vandenilį, amoniaką), kurios paprastai dalyvauja apdorojimo metu. Plokščių kasetės yra stabilios oksiduojančioje ir neoksiduojančioje atmosferoje ir gali būti įtrauktos į krosnies darbo eigą atliekant įvairius procesus, tokius kaip oksidacija, difuzija, LPCVD ir atkaitinimas.

Siekdama patenkinti specifinius proceso reikalavimus, Semicorex siūlo įvairių dydžių, lizdų skaičiaus ir konfigūracijų pritaikytas SiC plokštelių kasetes. Kiekvienam įrenginiui atliekama griežta kokybės patikra ir paviršiaus apdorojimas, kad būtų užtikrintas lygumas, švarumas ir matmenų tikslumas. Pasirenkamas paviršiaus poliravimas dar labiau sumažina dalelių susidarymą ir pagerina suderinamumą su automatizuotomis plokštelių tvarkymo sistemomis.