SiC vertikalios valtys

„Semicorex SiC“ vertikalios valtys yra inžinerijos vaflinių vaflių nešikliai, sukurti ir pagaminti taip, kad būtų užtikrintas didžiausias šiluminis, mechaninis ir cheminis stabilumas vertikalios krosnies puslaidininkių apdorojimui. Pastatytas iš aukšto grynumoSilicio karbidas, Mes tikime, kad jie yra geriausias labai pažengusio vaflinio šiluminio apdorojimo stiprumo, ilgaamžiškumo ir švaros pusiausvyra, pažymėta kaip oksidacija, difuzija, LPCVD ir atkaitinimas vertikalių krosnių sistemose.

Vertikaliam krosnies apdorojimo aplinkai reikalinga vaflių atraminė sistema, kuri gali atlaikyti pakartotinę ekspoziciją aukštoje temperatūroje, dažnai viršijančią 1 200 ° C, ir išlikti be užteršimo be užteršimo problemų. SiC vertikalios valtys tobulėja dėl savo tvirtumo tokiose situacijose dėl vidinių mechaninių ir šiluminių savybių, susijusių su perkristalizuotu ar CVD silicio karbidu. Jų ypač žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas užtikrina minimalų metmenį ar iškraipymą dėl greito šiluminio ciklo. Be to, didelis šilumos laidumas siūlo didžiausią vietinės temperatūros homogeniškumą visuose vafliuose, o tai yra labai svarbi vaflių ir vaflių konsistencijai, esant sluoksnio storiui, dopingo profiliams ir elektros veikimui; Svarbūs didelio masto gamybos aspektai puslaidininkių pramonėje.

Palyginti su tradicinėmis kvarco valtimis, „SiC“ vertikalios valtys suteikia puikų mechaninį stiprumą ir ilgesnį aptarnavimo tarnavimo laiką. „Quartz“ laikui bėgant linkęs tapti trapūs ir devitrifikuoti, ypač agresyvių krosnių chemijose, todėl padidėja pakeitimo sąnaudos ir galimi gamybos pertraukimai. Priešingai, silicio karbidas palaiko savo vientisumą net ir po ilgo ėsdinančių dujų, tokių kaip chloras, HCl ar amoniakas, poveikis, būdingas įvairiuose difuzijos ir LPCVD procesuose. Išskirtinis atsparumas susidėvėjimui ir oksidacijos atsparumas žymiai sumažina dalelių susidarymą, padedant apsaugoti vaflių paviršius nuo užteršimo ir defektų susidarymo.

„SiC“ vertikalios valtys taip pat teikia didelę naudą, susijusį su ypač valomu apdorojimu. Didelio grynumo SIC medžiaga yra apdorojama griežtai kruopščiai, siekiant sumažinti identifikuojamus pėdsakų užteršimo metalus, kurie gali trukdyti puslaidininkių prietaisų eksploatavimo charakteristikoms. SiC vertikalūs valčių paviršiai yra gerai užbairuoti su dešiniojo aktualiais bruožais, kurie sumažina mikro dalelių išsiskyrimo tikimybę. SiC paviršiai yra chemiškai inertiški ir nereaguoja su proceso dujomis, todėl yra mažiau linkę į užteršimą. Šiuo atžvilgiu „SiC“ vertikalios valtys yra gerai pritaikytos linijos priekiniam galui (FEOL) ir linijos galinei galui (BEOL) vaflių apdorojimo operacijoms.

Sic vertikalios valtys taip pat suteikia dizaino lankstumo. Kiekviena vertikalioji valtis gali būti specifinė dizainu, kad būtų galima pritaikyti kelis vaflinių skersmenis (150 mm, 200 mm arba 300 mm vaflius), o proceso reikalavimams patenkinti gali būti naudojami lizdo skaičius ir tarpai. Tikslus apdirbimas ir matmenų valdymas leidžia tinkamai suderinti vaflius ir vaflių palaikymą mažinti bet kokių mikrokrizų ar įtempių įtrūkimų tikimybę pakrovimo, perdirbimo ir iškrovimo metu. Be to, jei tam tikram procesui reikalinga aukštesnė temperatūros vienodumas ir (arba) mažesnė šiluminė masė, optimizuotos geometrijos ir lizdų konstrukcijos gali būti įtrauktos į SIC vertikaliųjų valčių konfigūracijas, neprarandant jokių mechaninių savybių.

Kitas pranašumas yra priežiūra ir eksploatavimo efektyvumas. GriežtaSicVertikalios valtys sumažina pakeitimo laiką ir dažnį, taip sumažina prastovą ar nuosavybės išlaidas. SIC šiluminis smūgio atsparumas sukelia trumpesnius kaitinimo ir aušinimo ciklus, kad būtų padidintas gamybos linijų pralaidumas. SiC vertikalių valčių priežiūra ar valymas taip pat yra labai paprastas; Medžiaga gali ištverti dažniausiai įprastus šlapio ar sauso valymo procesus, būdingus puslaidininkių Fabse, tokiose kaip cheminis valymas rūgštimis ir kepimo aukštai temperatūroje.

Šiame moderniame sudėtingo puslaidininkių gamybos amžiuje, kai derlingumo pagerėjimas, užteršimo kontrolė ir stabilumas proceso metu turi bet kokią reikšmę, SiC vertikalios valtys suteikia tikrą technologinį pranašumą. Jie gerai susiduria su vertikalios krosnies pritaikymo fiziniais ir cheminiais iššūkiais ir prisideda prie bendro proceso optimizavimo, pateikdami vaflių vientisumą, nuoseklius rezultatus ir ilgesnį įrangos tarnavimo laiką.