SiC vertikalios valtys

„Semicorex SiC Vertical Boats“ yra sukonstruoti plokštelių laikikliai, suprojektuoti ir pagaminti taip, kad būtų užtikrintas aukščiausias šiluminis, mechaninis ir cheminis stabilumas vertikalios krosnies puslaidininkių apdorojimui. Pagaminta iš didelio grynumosilicio karbidas, manome, kad jie yra geriausias stiprumo, ilgaamžiškumo ir švaros balansas labai pažangiam plokšteliniam terminiam apdorojimui, pažymėtam kaip oksidacija, difuzija, LPCVD ir atkaitinimas vertikaliose krosnių sistemose.

Vertikalios krosnies apdorojimo aplinkai reikalinga plokštelių atraminė sistema, kuri gali atlaikyti pakartotinį poveikį aukštai temperatūrai, dažnai viršijančiai 1200 °C, ir išlikti stabili, be užteršimo problemų. SiC vertikalios valtys išsiskiria savo tvirtumu šiose situacijose dėl būdingų rekristalizuoto arba CVD silicio karbido mechaninių ir šiluminių savybių. Ypač mažas jų šiluminio plėtimosi koeficientas užtikrina minimalų deformaciją ar iškraipymą dėl greito terminio ciklo. Be to, didelis šilumos laidumas užtikrina didžiausią vietinės temperatūros homogeniškumą visose plokštelėse, o tai labai svarbu siekiant užtikrinti sluoksnio storio, legiravimo profilių ir elektrinių savybių nuoseklumą. svarbūs puslaidininkių pramonės didelės apimties gamybos aspektai.

Palyginti su tradicinėmis kvarcinėmis valtimis, SiC vertikalios valtys užtikrina puikų mechaninį stiprumą ir ilgesnį tarnavimo laiką. Kvarcas laikui bėgant tampa trapus ir devitrifikuojamas, ypač naudojant agresyvią krosnių chemiją, todėl padidėja pakeitimo sąnaudos ir galimi gamybos sutrikimai. Priešingai, silicio karbidas išlaiko vientisumą net ir po ilgo poveikio korozinėms dujoms, tokioms kaip chloras, HCl arba amoniakas, kurios yra dažnos įvairiuose difuzijos ir LPCVD procesuose. Išskirtinis atsparumas dilimui ir oksidacijai labai sumažina dalelių susidarymą ir padeda apsaugoti plokštelių paviršius nuo užteršimo ir defektų susidarymo.

SiC vertikalios valtys taip pat suteikia didelę naudą ypač švaraus apdorojimo požiūriu. Didelio grynumo SiC medžiaga apdorojama griežtai kruopščiai, kad būtų sumažintas identifikuojamas teršiančių metalų pėdsakas, galintis trikdyti puslaidininkinių įtaisų veikimo charakteristikas. SiC vertikalios valties paviršiai yra gerai apdailinti su stačiakampiais elementais, kurie sumažina mikrodalelių išsiliejimo tikimybę. SiC paviršiai yra chemiškai inertiški ir nereaguoja su proceso dujomis, todėl yra mažiau linkę užteršti. Šiuo atžvilgiu SiC vertikalios valtys puikiai tinka priekinės linijos (FEOL) ir galinės linijos (BEOL) plokštelių apdorojimo operacijoms.

SiC vertikalios valtys taip pat siūlo dizaino lankstumą. Kiekviena vertikali valtis gali būti pritaikyta konkrečiam dizainui, kad atitiktų kelių skersmenų plokšteles (150 mm, 200 mm arba 300 mm plokšteles), o plyšių skaičius ir tarpai gali būti naudojami, kad atitiktų proceso reikalavimus. Tikslus apdirbimas ir matmenų valdymas leidžia tinkamai išlyginti plokšteles ir palaikyti plokšteles, sumažinant bet kokių mikroįbrėžimų ar įtempių įtrūkimų tikimybę pakraunant, apdorojant ir iškraunant. Be to, jei tam tikram procesui reikalingas aukštesnis temperatūros tolygumas ir (arba) mažesnė šiluminė masė, optimizuotos geometrijos ir plyšių konstrukcijos gali būti įtrauktos į SiC vertikalios valties konfigūracijas, neprarandant jokių mechaninių savybių.

Kitas privalumas – priežiūra ir eksploatacijos efektyvumas. Tvirta konstrukcijaSiCVertikalios valtys sumažina keitimo laiką ir dažnumą, taip sumažindamos prastovos laiką arba nuosavybės išlaidas. SiC atsparumas šiluminiam smūgiui leidžia sutrumpinti šildymo ir vėsinimo ciklus, kad būtų užtikrintas didesnis gamybos linijų pralaidumas. SiC vertikalių valčių priežiūra arba valymas taip pat labai paprastas; medžiaga gali atlaikyti daugumą įprastų puslaidininkių gaminių drėgno arba sauso valymo procesų, tokių kaip cheminis valymas rūgštimis ir aukšta temperatūra.

Šiuolaikiniame sudėtingos puslaidininkių gamybos amžiuje, kai labai svarbu pagerinti derlių, užterštumo kontrolę ir proceso stabilumą, SiC vertikalios valtys siūlo tikrą technologinį pranašumą. Jie puikiai susidoroja su fiziniais ir cheminiais vertikalių krosnių taikymo iššūkiais ir prisideda prie bendro proceso optimizavimo užtikrinant plokštelių vientisumą, nuoseklius rezultatus ir ilgesnį įrangos tarnavimo laiką.