Sic roboto rankos

„Semicorex SiC“ robotų rankos yra naujausi galutiniai efektoriai, skirti robotikos vaflių perdavimo programoms puslaidininkių gamybos srityje. Pagaminta iš aukštos kokybės medžiagų, mes sukūrėme šias robotų rankas su silicio karbido (sic) keramika, kad užtikrintume maksimalų šiluminį lentelę, cheminį stabilumą ir mechaninį stiprumą vis griežtesnei vaflių gamybai ar valdymui.

Pagrindinis mūsų „SiC“ roboto rankos yra mūsų patentuota pažangaSilicio karbidasŽinomas dėl didelio kietumo (MOHS 9), aukštas šilumos laidumas ir atsparumas korozijai. SIC, skirtingai nuo tradicinių medžiagų, tokių kaip aliuminis ar nerūdijantis plienas, SIC yra suderinamas su atšiauria puslaidininkių švarių kambarių perdirbimo aplinka, įskaitant perdirbtą aukštą temperatūrą ir reaktyviosios dujos. Mes siūlome ilgalaikį patvarumą ir sumažiname užteršimą, atsižvelgiant į griežtą grynumą, reikalingą vaflių gamybai.

Puslaidininkių įranga su SiC robotų rankomis Naudokite neigiamo slėgio siurbimą, kad gautumėte vaflį, t. Y., Puslaidininkių vaflis yra adsorbuojamas ant kvarco arba keraminio piršto, naudojant atitinkamai siurbimo taurės principą, po to, kai transportavimas naudojant atitinkamai, naudojant mechaninę veikimo svirtį, prailginant, besisukančius ir kėlimo judesius.

„Didelis greitis“ ir „švara“ yra pagrindinės puslaidininkių vaflių tvarkymo įrangos savybės. Siekiant patenkinti šias savybes, įranga turi ypač griežtus naudojamų komponentų veikimo reikalavimus. Kadangi dauguma procesų atliekami vakuume, aukštoje temperatūroje ir korozinėje dujų aplinkoje, įrangoje naudojama valdymo rankena turi turėti puikias fizines savybes, tokias kaip: didelis mechaninis stiprumas, atsparumas korozijai, atsparumas aukštai temperatūrai, atsparumas dūrimi, dideli kietumai, izoliacija ir kt. Ir pažengusios keraminės medžiagos gali atitikti šias sąlygas.

Silicio karbido keramikaTurėkite tankios tekstūros fizines savybes, aukštą kietumą, didelį atsparumą dilimui, taip pat gerą atsparumą šilumai, puikų mechaninį stiprumą, gerą izoliaciją aukštos temperatūros aplinkoje, gerą atsparumą korozijai ir kitoms fizinėms savybėms. Tai puiki medžiaga, skirta gaminti puslaidininkių įrangą.

Pripažindami, kad robotų platformos skiriasi įvairiose FAB ir įrankių gamintojuose, mūsų „SiC“ robotų rankos yra įvairių standartizuotų dydžių ir gali būti pritaikytos unikalioms įrankių konfigūracijoms. Montavimo sąsajos, pirštų geometrijos ir vaflių atramos funkcijos gali būti pritaikytos atsižvelgiant į konkrečias įrangos ir proceso poreikius. Nesvarbu, ar perkeliate vaflius klasterių įrankiuose, vakuuminėse kamerose ar foup sistemose, mūsų robotų rankos sklandžiai integruoja su pirmaujančiais robotikos prekės ženklais.

Kiekviena „SiC“ roboto ranka atliekama griežtai valant, tikrinant ir pakuojant, kad būtų užtikrinta 1 klasės švarios kambario standartų laikymasis. Neporinis, antistatinis SIC paviršius sumažina dalelių adheziją, o tvirta struktūra atspindi mikrofrakcijas, kurios laikui bėgant gali sukelti dalelių susidarymą. Tai daro juos idealiais vaflių procesais, kai net menkiausias užterštumas gali sukelti prietaiso gedimą.

Nuo epitaksijos ir jonų implantacijos iki PVD, CVD ir CMP, SIC roboto rankos pasitiki kiekvienu puslaidininkio įrenginio gamybos žingsniu. Dėl didesnio atsparumo šiluminiam šokui ir plazmoje aplinkoje jie tampa nepakeičiami pažangiose logikos ir galios puslaidininkių linijose, ypač ten, kur naudojami sic vaflių substratai.