SiC vamzdžiai

„Semicorex Sic“ vamzdžiai yra puslaidininkių krosnių sistemų keraminės dalys.  Jie pasižymi unikaliomis savybėmis, kurios apima didelę šiluminę transmisiją ir aukštą temperatūrą bei cheminį atsparumą, reikalingą puslaidininkių programose, kur yra ekstremalios aukštos temperatūros ir cheminės aplinkos sąlygos, kurios tikimasi ir kuriose savybės yra pageidautinos - patvarumo, energijos vartojimo efektyvumas ir unikalios stabilios proceso sąlygos, kurios leidžia naudoti ekonomiškumą pažangiųjų punktų gamybos aplinkoje.

„Semicorex Sic“ vamzdžiai naudoja aukšto grynumo grūdąSilicio karbidasTai pagaminta taip, kad būtų išskirtinis aukštos temperatūros mechaninis stabilumas dėl pažangių sukepinimo ir perkristalizacijos metodų ir metodų. Įgalinus aukštos kokybės SIC, atsiranda išskirtinis mechaninis stiprumas ir šiluminio stabilumo sulaikymas esant aukštai veikiančiai temperatūrai. SIC turi išskirtinį kietumą, kuris sušvelnina susidėvėjimą arba galimą deformaciją.  Be to, su SIC savybėmis susiję požymiai yra mažai degalų šiluminio išsiplėtimo koeficientas, nes jie riboja šiluminį stresą, nes šioje medžiagoje bus reikalavimai važiuoti ciklu tarp ekstremalios aukštos ir žemos veikiančios šilumos. Visais šiais aspektais jie turi specialų naudingumą idealiems pritaikymams difuzijos krosnyse, oksidacijos krosnyse ir LPCVD/PECVD sistemose, kad būtų galima išlaikyti maksimalią stabilių proceso sąlygas, yra naudinga pašalinti arba apriboti defektus, kurie taip pat yra metrikos, susijusios su plokštele ar medžiaga, esant labai statams, netgi proceso sąlygoms.

Kitas svarbus SIC vamzdžių naudingumas yra aukštas šiluminio laidumo profiliai tam tikromis sąlygomis ir taikytinomis krosnies konstrukcijomis, kad būtų galima sukurti aukštą laidumo greitį ir, svarbiausia, tolygų ir stabilų temperatūros pasiskirstymą visame procese.  Šis patikimas elgesys leidžia vafeliams veikiami pusiau lygiagrečio temperatūros pasiskirstymo per pagrįstus laiko intervalus ir papildomai apriboti šiluminius gradientus, kad būtų sušvelnintos plokščio dugno iškraipytos ir (arba) iškovotos vaflinės, tuo pačiu pagerinant tolygesnes plėvelės nusėdimo sąlygas.

Cheminis stabilumas ir pasipriešinimas yra dar vienas svarbus veikimo veiksnys.  Puslaidininkių procesuose krosnies vamzdis turi įtakos labai reaktyviosioms dujoms, įskaitant deguonį, vandenilį, amoniaką ir visus halogenus, kurie greitai gali skaidyti įprastas medžiagas. Tanki ir neporuota mikrostruktūra kartu su chemiškai inertišku SIC pobūdžiu apsaugo ją nuo oksidacijos ir korozijos, tuo pačiu užtikrinant eksploatavimo ir mechaninius eksploatacines savybes kraštutiniame proceso aplinkoje.  SiC krosnių patvarumas padeda jiems išlaikyti formos ir matmenų tikslumo vientisumą ilgą laiką, o tai svarbu proceso valdymui ir stabilumui.

SIC vamzdžiai gali būti gaminami įvairių dydžių ir sienų storio, geometriškai formuojamos, kad būtų galima pritaikyti krosnių dizainą ir proceso poreikius.  Tikslios tikslumo apdirbimo charakteristikos taip pat palaikomos kuriant ir gaminant SIC vamzdžius, kad operaciniai nuokrypiai galėtų būti sandarūs, su sklandžiais vidiniais paviršiais ir puikia koncentracija, kad būtų išlaikytas laminarinio dujų srauto ir vienodų šiluminių profilių pusiausvyra. Paviršiaus poliravimas ir dangos gali būti pateikiamos kaip gydymo galimybės, kurios padidins efektyvumą mažinant dalelių susidarymą ir pagerinant atsparumą korozijai.

SIC vamzdžiai turi aiškius veiklos ir išlaidų pranašumus, palyginti su alternatyviomis medžiagomis, tokiomis kaip kvarco ar aliuminio oksido vamzdžiai.  Pradinės SIC komponentų išlaidos gali būti šiek tiek didesnės, tačiau produkto eksploatavimo laikas, sumažėjęs lūžis ir mažesni priežiūros reikalavimai lemia bendrą nuosavybės išlaidas, tai yra mažesnės išlaidos nei alternatyvios medžiagos ir vamzdžiai.

Baigkite, SemicorexSicVamzdžiai yra geriausias pasirinkimas puslaidininkių krosnies pritaikymui, nes jie suteikia geriausią šiluminį našumą, mechaninį stiprumą, cheminį pasipriešinimą ir patikimumą reikalaujančiai gamybos aplinkai. Ši medžiaga pagerina proceso stabilumą ir padeda sutaupyti išlaidų ir efektyvumo (t. Y. Mažesnės energijos suvartojimo). SIC vamzdžiai yra pagrindinė šiuolaikinio puslaidininkio gamybos medžiaga.