SIC horizontalūs krosnių vamzdžiai

SIC horizontalūs krosnies vamzdžiaiyra nepakeičiami krosnių sistemos nešikliai, dažniausiai esantys puslaidininkių gamybos arba fotovoltinės gamybos įrangos šerdies šildymo zonoje. Jie veikia kartu su kaitinimo elementais, temperatūros valdymo sistemomis, dujų valdymo sistemomis ir plokštelėmis, kad sudarytų visą krosnies sistemą.

Realiai veikiant, SIC horizontalūs krosnies vamzdžiai šildomi kaitinimo elementais, kurie tolygiai perduoda šilumą į krosnies vamzdžius dėl puikaus silicio karbido medžiagų šilumos laidumo. Tuo tarpu specifinės proceso dujos (pvz., deguonis, azotas, dopingo dujos ir kt.) įleidžiamos į krosnies vamzdį. Dėl šios aukštos temperatūros dujų atmosferos puslaidininkinės medžiagos krosnyje įvyks cheminių reakcijų arba fizinių pokyčių, galiausiai pasieks medžiagų modifikavimą, dopingą arba struktūrinį optimizavimą.

„Semicorex“ SIC horizontalios krosnies vamzdžiai pasižymi nepaprastu mechaniniu stiprumu ir kietumu, o tai atlieka svarbų vaidmenį taikant didelio tūrio plokštelių tvarkymą ir apdorojimą. SIC horizontalūs krosnies vamzdžiai gali užtikrinti stabilią plokštelių atramą terminio apdorojimo procesuose, tokiuose kaip oksidacija, difuzija ir atkaitinimas, užtikrinant, kad plokštelės būtų tinkamoje padėtyje apdorojant aukštoje temperatūroje ir išvengiant poslinkio ar deformacijos dėl terminio įtempio.

Semicorex SIC horizontalios krosnies vamzdžiai gaminami iš didelio grynumosilicio karbido keramikasu itin mažu priemaišų kiekiu, po kurio nusėda CVDsilicio karbido dangaant jų paviršiaus. Šis gamybos būdas prideda SIC horizontalių krosnies vamzdžių apsauginį sluoksnį, kuris leidžia jiems stabiliai veikti sudėtingoje aukštos temperatūros ir korozinėje aplinkoje laikui bėgant. Šis SIC horizontalių krosnies vamzdžių atsparumas korozijai pagerina puslaidininkinių plokštelių gamybos efektyvumą, efektyviai sumažindamas su korozija susijusių komponentų pažeidimo riziką ir sumažindamas poreikį dažnai keisti ir prižiūrėti.

Turėdami tiek daug puikių savybių, Semicorex SIC horizontalūs krosnies vamzdžiai yra plačiai naudojami daugelyje aukštos temperatūros apdorojimo procesų fotovoltinės ir puslaidininkių pramonės šakose, pavyzdžiui, oksidacijos procese, difuzijos procese, atkaitinimo procese ir žemo slėgio cheminio nusodinimo garais.