SiC dangos šildytuvas

Semicorex SiC Coating Heater privalumai

1. Tvirta apsauga nuo reaktyvios aplinkos

Semicorex SiC Coating Heater CVD SiC danga sukurta taip, kad užtikrintų tvirtą apsaugą nuo reaktyvios ir korozinės aplinkos, su kuria susiduriama MOCVD ir EPI procesuose. Didelio tankio SiC danga veikia kaip didžiulis barjeras, apsaugantis kaitinimo elementą nuo pažeidimų. Ši apsauga užtikrina pastovų ir patikimą veikimą, sumažindama prastovų ir priežiūros išlaidas.

2. Padidintas terminis stabilumas ir efektyvumas

Išskirtinės šiluminės SiC dangos savybės prisideda prie didesnio mūsų šildytuvų šiluminio stabilumo ir efektyvumo. Dangos gebėjimas atlaikyti aukštą temperatūrą ir nesumažėti užtikrina, kad SiC dangos šildytuvas ilgą laiką išlaikys savo veikimą. Šis terminis stabilumas yra labai svarbus norint pasiekti tikslią temperatūros kontrolę puslaidininkių procesuose, todėl pagerėja įrenginio kokybė ir išeiga.

3. Didelis grynumas ir mažas užterštumas

Labai aukštas mūsų SiC dangos grynumas užtikrina minimalų užterštumą puslaidininkių gamybos procese. Su mažiau nei 5 ppm priemaišų mūsų danga nepatenka jokių teršalų, kurie galėtų turėti įtakos puslaidininkinių įtaisų veikimui ir patikimumui. Šis didelis grynumas yra būtinas norint išlaikyti griežtus puslaidininkių gamybos standartus.

4. Pritaikymas optimaliam našumui

Mūsų gebėjimas pritaikyti SiC dengimo procesą, kad būtų užtikrintas skirtingas paviršiaus šiurkštumas ir dangos storis, leidžia optimizuoti šildytuvų veikimą tam tikroms reikmėms. Šis pritaikymas užtikrina, kad kiekvienas SiC dangos šildytuvas puikiai tinka pagal numatytą paskirtį, padidinant bendrą gamybos proceso efektyvumą ir patikimumą.

5. Patvarumas ir ilgaamžiškumas

Puikus Semicorex SiC Coating Heater CVD SiC dangos sukibimas ir ilgaamžiškumas užtikrina, kad ji išliks veiksminga ilgą laiką, net ir ekstremaliomis sąlygomis. Dėl tokio patvarumo sumažėja poreikis dažnai keisti ir prižiūrėti, todėl sumažėja eksploatavimo sąnaudos ir padidėja našumas. Dangos atsparumas įtrūkimams dar labiau padidina jos ilgaamžiškumą, užtikrinant pastovią apsaugą ir veikimą.

Taikymas puslaidininkių gamyboje

Semicorex SiC Coating Heater yra būtinas įvairiuose puslaidininkių pramonės aukštos temperatūros procesuose. Šie šildytuvai yra ypač svarbūs:

MOCVD procesai: metalo-organinis cheminis nusodinimas garais yra pagrindinis procesas gaminant sudėtinius puslaidininkius. Tokioje aplinkoje Semicorex SiC Coating Heater CVD SiC danga užtikrina tvirtą šildytuvo apsaugą ir užtikrina nuoseklų ir patikimą nusodinimą.

EPI procesai: epitaksinio augimo procesams reikalinga tiksli temperatūros kontrolė ir apsauga nuo reaktyvių dujų. Mūsų SiC danga puikiai tinka tokiomis sąlygomis, išlaikant kaitinimo elementų vientisumą ir našumą.