MOCVD šildytuvas

Šis šildytuvas pagamintas iš didelio grynumo grafito, kurio priemaišų lygis yra kruopščiai kontroliuojamas iki mažesnio nei 5 milijonų dalių (ppm). Tada grafitas padengiamas cheminiu garų nusodinimu (CVD) silicio karbidu (SiC), kurio grynumo lygis viršija 99,99995%. Šis medžiagų derinys suteikia šildytuvui unikalių savybių, kurios yra būtinos norint pasiekti optimalų metalo ir organinio cheminio garų nusodinimo (MOCVD) procesų efektyvumą.

Viena ryškiausių Semicorex MOCVD šildytuvo savybių yra išskirtinis cheminis grynumas. Didelio grynumo grafito šerdis žymiai sumažina teršalų patekimą aukštoje temperatūroje vykstančių procesų metu, užtikrinant itin švarių plonų plėvelių nusodinimą. CVD SiC danga dar labiau padidina šį grynumą, suteikdama tvirtą barjerą nuo cheminės sąveikos, kuri gali pakenkti nusodintų sluoksnių vientisumui. Šis aukštas cheminio grynumo lygis yra labai svarbus gaminant puslaidininkinius įrenginius, pasižyminčius puikiu našumu ir patikimumu.

Be to, šildytuvas yra labai tvirtas ir termiškai efektyvus, galintis atlaikyti ekstremalias šilumines sąlygas, būdingas MOCVD procesams. SiC būdingos savybės, tokios kaip aukšta lydymosi temperatūra ir šilumos laidumas, prisideda prie šildytuvo gebėjimo efektyviai valdyti ir paskirstyti šilumą. Šis šiluminis efektyvumas užtikrina tolygų kaitinimą visame pagrinde, o tai būtina norint pasiekti vienodą plėvelės nusodinimą ir sumažinti terminius gradientus, dėl kurių gali atsirasti defektų.

Elektros laidumas yra dar viena sritis, kurioje Semicorex MOCVD šildytuvas išsiskiria. Didelio grynumo grafito šerdis užtikrina puikų elektros laidumą, todėl šildytuvas lengvai atlaiko dideles elektros apkrovas. Ši galimybė yra ypač svarbi MOCVD procesuose, kuriems reikia tiksliai kontroliuoti temperatūrą ir nusodinimo greitį. Šildytuvo gebėjimas išlaikyti stabilų elektrinį našumą esant didelėms apkrovoms užtikrina pastovias ir atkuriamas proceso sąlygas, kurios yra gyvybiškai svarbios didelio našumo puslaidininkių gamybai.

Plokščias šildytuvo paviršius yra kruopščiai suprojektuotas taip, kad būtų užtikrintas didesnis spinduliuotės koeficientas į pagrindą ir padidintas spinduliuotės šilumos perdavimo efektyvumas. Ši konstrukcijos ypatybė užtikrina, kad substratas būtų vienodai šildomas, o tai labai svarbu norint gauti aukštos kokybės plonas plėveles, kurių storis ir savybės yra vienodos. Didelės spinduliuotės paviršius taip pat prisideda prie bendro šildytuvo šiluminio efektyvumo, sumažindamas energijos sąnaudas ir eksploatacines išlaidas.

Kalbant apie ilgaamžiškumą, Semicorex MOCVD šildytuvas pasižymi išskirtiniu atsparumu korozijai, neoksiduojamumu ir dideliu mechaniniu stiprumu. CVD SiC danga suteikia tvirtą apsauginį sluoksnį, kuris atsparus korozinėms dujoms ir cheminėms medžiagoms, dažniausiai sutinkamoms MOCVD procesuose. Šis atsparumas korozijai prailgina šildytuvo eksploatavimo laiką, sumažindamas priežiūros ir keitimo išlaidas. Šildytuvo neoksidacija užtikrina, kad jis išliks stabilus ir nesuyra net esant aukštai temperatūrai, išsaugant jo našumą ir struktūrinį vientisumą ilgą eksploatavimo laikotarpį.

Galiausiai, didelis šildytuvo mechaninis stiprumas užtikrina, kad jis gali atlaikyti fizinius įtempius, susijusius su terminiu ciklu ir substrato tvarkymu. Šis tvirtumas sumažina mechaninių gedimų riziką, užtikrina patikimą ir nuolatinį veikimą.