SiC padengtas vaflių diskas

Semicorex SiC padengto vaflių disko pagrindą sudaro aukštos kokybės grafitas, profesionaliai padengtas cheminiu garų nusodinimu (CVD) SiC. Ši pažangi konstrukcija užtikrina išskirtinį atsparumą šiluminiams smūgiams ir cheminiam skilimui, žymiai pailgina SiC padengto plokštelinio disko tarnavimo laiką ir užtikrina patikimą veikimą per visą puslaidininkių gamybos procesą.

Pažymėtina, kad SiC padengtas plokštelinis diskas pasižymi šilumos laidumu, kuris yra labai svarbus efektyviam šilumos išsklaidymui puslaidininkių gamybos metu. Ši savybė sumažina šiluminius gradientus visoje plokštelės paviršiuje ir skatina vienodą temperatūros pasiskirstymą, būtiną norint pasiekti norimas puslaidininkio charakteristikas.

SiC danga užtikrina tvirtą apsaugą nuo cheminės korozijos ir šiluminio smūgio, išlaikant SiC padengto plokštelinio disko vientisumą net ir atšiaurioje proceso aplinkoje. Dėl šio padidinto patvarumo pailgėja eksploatavimo trukmė ir sutrumpėja prastovos laikas, todėl puslaidininkių gamybos įrenginiuose padidėja našumas ir ekonomiškumas.

Be to, SiC padengtas vaflių diskas gali būti pritaikytas pagal specifinius reikalavimus ir pageidavimus. Siūlome pritaikymo parinktis, pradedant nuo dydžio koregavimo iki dangos storio keitimo, todėl suteikiame dizaino lankstumo, kuris optimizuoja našumą įvairiose srityse ir proceso parametruose.