SiC dengti dujų nukreipimo diskai

„Semicorex“ yra puikus pažangių puslaidininkinių medžiagų ir pažangiausių gamybos technologijų pavyzdys.Padengtas SiCdujų nukreipimo diskai yra tiksliai gaminami iš didelio grynumo grafito kaip jų matricos su tankia SiC danga cheminio garų nusodinimo būdu. Dujų nukreipimo diskai daugiausia skirti tolygiai paskirstyti reakcijos dujas per plokštelės paviršių, kad būtų užtikrintos visapusiškos reakcijos apdorojimo metu, taip palengvinant nuoseklių ir vienodų vieno kristalo plonų plėvelių susidarymą.

Semicorex SiC dengtų dujų nukreipimo diskų privalumai

1. Aukštas medžiagų grynumas

Semicorex laikosi griežtų gaminių kokybės standartų, pradedant nuo kruopštaus medžiagų pasirinkimo. Dėl šios griežtos žaliavos grynumo kontrolės Semicorex SiC dengti dujų nukreipimo diskai suteikia mažai priemaišų ir pasižymi išskirtine švara. Tai gali žymiai užkirsti kelią metalo jonams ir kitiems teršalams pakenkti puslaidininkių epitaksiniams procesams.

2. Puikus terminis stabilumas

Šiose sistemose naudojami komponentai turi turėti išskirtinį šiluminį stabilumą, nes puslaidininkinė epitaksinė įranga paprastai veikia aukštesnėje nei 1400 °C temperatūroje. Šis išskirtinis šiluminis stabilumas gali užtikrinti, kad Semicorex SiC dengti dujų nukreipimo diskai atlaikytų sudėtingas aukštų temperatūrų eksploatavimo sąlygas ir gali veiksmingai užkirsti kelią priemaišoms, kurias sukelia aukšta temperatūra eksploatacijos metu, o tai padeda užtikrinti epitaksinių plokštelių kokybę ir išeigą.

3. Puikus atsparumas korozijai aukštoje temperatūroje

Neapsaugotos grafito matricos yra linkusios į koroziją ir dalelių susidarymą, todėl dujų nukreipimo diskai dažniausiai yra apdorojami silicio karbido danga, kad padidintų jų atsparumą korozijai. Tankia SiC danga padengti „Semicorex SiC“ dengti dujų nukreipimo diskai pasižymi puikiu atsparumu oksidacijai ir cheminei korozijai, o tai leidžia jiems stabiliai veikti ilgą tarnavimo laiką net sudėtingomis aukštos temperatūros ir korozinėmis sąlygomis.

4. Lanksčios pritaikymo galimybės

„Semicorex“ turi daug pažangių apdorojimo įrenginių, pvz., CNC apdirbimo įrangą, paviršiaus šlifavimo stakles ir ultragarso gręžimo įrangą. „Semicorex“ gali pasiūlyti lanksčias pritaikymo paslaugas pagal klientų brėžinius ir pritaikyti SiC dengtų dujų nukreipimo diskų matmenis, leistinus nuokrypius, paviršiaus lygumą, angų skersmenis ir tarpus tarp angų, kad būtų užtikrintas sklandus suderinamumas su klientų epitaksine įranga.