SiC padengtas epitaksinis diskas

Semicorex SiC padengtas epitaksinis diskas turi daugybę neprilygstamų pranašumų puslaidininkių pramonėje, kuriuos galima toliau tobulinti taip:

Žemas šiluminio plėtimosi koeficientas: SiC padengtas epitaksinis diskas pasižymi ypač mažu šiluminio plėtimosi koeficientu, kuris yra labai svarbus puslaidininkių apdorojimui, kai matmenų stabilumas yra būtinas. Šis požymis užtikrina, kad SiC padengtas epitaksinis diskas minimaliai išsiplės arba susitrauktų esant temperatūros svyravimams, išlaikant puslaidininkių struktūros vientisumą aukštoje temperatūroje vykstančių procesų metu.

Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: Šis SiC padengtas epitaksinis diskas, sukurtas pasižymintis nepaprastu atsparumu oksidacijai, išlaiko savo struktūrinį vientisumą aukštesnėje temperatūroje, todėl jis yra idealus komponentas, naudojamas aukštos temperatūros puslaidininkių procesuose, kur šiluminis stabilumas yra labai svarbus.

Tankus ir smulkiai akytas paviršius: SiC padengto epitaksinio disko paviršius pasižymi tankiu ir smulkiu poringumu, kuris suteikia optimalią paviršiaus tekstūrą įvairioms dangoms klijuoti ir užtikrina efektyvų medžiagos pašalinimą puslaidininkinių plokštelių apdirbimo metu, nepažeidžiant subtilaus paviršiaus.

Didelis kietumas: danga suteikia grafito disko kietumą, kuris yra atsparus įbrėžimams ir nusidėvėjimui, taip pailgindamas SiC padengto epitaksinio disko tarnavimo laiką ir sumažindamas keitimo dažnumą puslaidininkių gamybos aplinkoje.

Atsparumas rūgštims, bazėms, druskoms ir organiniams reagentams: SiC padengta epitaksijos disko CVD SiC danga pasižymi puikiu atsparumu įvairioms korozinėms medžiagoms, įskaitant rūgštis, bazes, druskas ir organinius reagentus, todėl tinka naudoti aplinkoje, kurioje cheminis poveikis kelia susirūpinimą, todėl padidėja įrangos patikimumas ir ilgaamžiškumas.

Beta-SiC paviršiaus sluoksnis: SiC padengto epitaksinio disko SIC (silicio karbido) paviršinis sluoksnis susideda iš beta-SiC, kurio kristalinė struktūra yra į veidą orientuota kubinė (FCC). Ši kristalų struktūra prisideda prie išskirtinių dangos mechaninių ir šiluminių savybių, suteikdama puikų disko stiprumą ir šilumos laidumą, o tai būtina puslaidininkių apdorojimo įrangai.