SiC keramikinis vakuuminis griebtuvas

Siekdami Moore'o dėsnio, puslaidininkių gamybos įrenginiams reikia plokštelių laikymo platformų, kurios galėtų atlaikyti dideles mechanines jėgas ir likti plokščios, be iškilimų ar įdubimų. Semicorex SiC keramikinis vakuuminis griebtuvas yra puikus sprendimas pakeisti tradicinius aliuminio oksido ir nerūdijančio plieno griebtuvus; jie užtikrins reikiamą standumo ir svorio santykį ir nereaguos chemiškai, kurie abu yra būtini apdorojant 300 mm plokšteles ir daugiau.

1. Medžiagų pranašumai naudojant sukepintą tankų silicio karbidą (SSiC).

Pagrindinis mūsų komponentasSiC keramikaVakuuminis griebtuvas yra sukepintasSilicio karbidas, medžiaga, kurią apibūdina labai stiprus kovalentinis ryšys. Mūsų SSiC nėra akytas arba surištas su reakcija; veikiau sukepinamas > 2000 laipsnių Celsijaus temperatūroje, kad būtų pasiektas beveik teorinis tankis (> 3,10 g/cm3) – paprasčiau tariant, jis yra tvirtesnis nei kitos medžiagos, naudojamos vakuuminiams griebtuvams gaminti.

Išskirtinis mechaninis standumas.

Youngo SSiC modulis yra maždaug 420 GPa, todėl jis yra daug standesnis nei aliuminio oksidas (apie 380 GPa). Dėl šio didelio elastingumo modulio mūsų griebtuvai išliks stabilūs tiek vakuumo, tiek didelio greičio sukimosi sąlygomis ir nesideformuos; vadinasi, vafliai „neišsiskleis bulvių traškučiai“ (t. y. nesikreips) ir visada vienodai kontaktuos visame paviršiaus plote.

Terminis stabilumas ir mažas CTE

Procesuose, kuriuose dalyvauja didelio intensyvumo UV šviesa arba trinties sukelta šiluma, šiluminis plėtimasis gali sukelti perdangos klaidas. Mūsų SiC griebtuvai turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą (CTE) – 4,0 x 10^{-6}/K, kartu su dideliu šilumos laidumu (>120 W/m·K). Šis derinys leidžia griebtuvui greitai išsklaidyti šilumą, išlaikant matmenų stabilumą ilgalaikių litografijos ar metrologijos ciklų metu.

2. Tikslioji inžinerija ir projektavimas

Kaip matote gaminio paveikslėlyje, mūsų vakuuminiai griebtuvai turi sudėtingą koncentrinių ir radialinių vakuuminių kanalų tinklą. Jie yra itin tiksliai apdirbti CNC, kad būtų užtikrintas vienodas siurbimas visoje plokštelėje, sumažinant lokalizuotus įtempimo taškus, dėl kurių plokštelė gali lūžti.

Sub-mikroninis plokštumas: naudojame pažangias deimantų šlifavimo ir glaistymo technologijas, kad pasiektume <1 μm plokštumą. Tai labai svarbu norint išlaikyti židinio gylį, reikalingą pažangiuose litografijos mazguose.

Lengvas svoris (pasirinktinai): kad būtų galima pritaikyti didelio pagreičio etapus žingsniniuose ir skaitytuvuose, siūlome vidines korio „lengvas“ konstrukcijas, kurios sumažina masę nepakenkiant konstrukcijos tvirtumui.

Perimetro išlygiavimo įpjovos: Integruotos įpjovos leidžia sklandžiai integruoti su robotizuotais galutiniais efektais ir išlygiavimo jutikliais proceso įrankyje.

3. Svarbiausios puslaidininkių tiekimo grandinės taikymas

Mūsų SiC keraminiai vakuuminiai griebtuvai yra pramonės standartas:

Plokščių ploninimas ir šlifavimas (CMP): suteikia standžią atramą, reikalingą plonoms plokštelėms iki mikronų lygio, be kraštų atskilimo.

Litografija (žingsniai / skaitytuvai): veikia kaip itin plokščia „scena“, užtikrinanti tikslų lazerinį fokusavimą mažesniems nei 7 nm mazgams.

Metrologija ir AOI: Užtikrinkite, kad plokštelės būtų idealiai plokščios, kad būtų galima atlikti didelės skiriamosios gebos patikrinimą ir defektų atvaizdavimą.

Vaflių pjaustymas: užtikrina stabilų siurbimą atliekant didelės spartos mechaninio arba lazerio pjaustymo operacijas.

„Semicorex“ mes suprantame, kad vakuuminis griebtuvas yra toks geras, koks yra jo paviršiaus vientisumas. Kiekvienam griebtuvui taikomas kelių etapų kokybės kontrolės procesas:

Lazerinė interferometrija: viso skersmens plokštumui patikrinti.

Helio nuotėkio bandymas: įsitikinkite, kad vakuuminiai kanalai yra puikiai sandarūs ir veiksmingi.

Švarios patalpos valymas: apdorotas 100 klasės aplinkoje, kad būtų užtikrintas nulinis metalinis ar organinis užterštumas.

Mūsų inžinierių komanda glaudžiai bendradarbiauja su OĮG įrankių gamintojais, kad pritaikytų lizdų modelius, matmenis ir tvirtinimo sąsajas. Pasirinkę Semicorex, jūs investuojate į komponentą, kuris sumažina prastovos laiką, pagerina perdangos tikslumą ir sumažina bendras nuosavybės išlaidas dėl ypatingo patvarumo.