SiC keramikinė robotinė rankena

SiC keramikaroboto rankayra naudojamas keliuose puslaidininkinių plokštelių gamybos procesuose, vaidindamas svarbų vaidmenį užtikrinant plokštelių gamybos kokybę ir efektyvumą. Paprastai jis įrengiamas įvairios puslaidininkinės priekinės įrangos, pvz., ėsdinimo mašinų, nusodinimo įrangos, litografijos mašinų, valymo įrenginių, kamerų viduje ir išorėje, tiesiogiai dalyvaujančios tvarkant ir nustatant puslaidininkines plokšteles. 

Puslaidininkinės plokštelės lengvai užterštos dalelėmis, todėl su jais susiję gamybos procesai daugiausia atliekami švarioje ir vakuuminėje puslaidininkinėje įrangoje. Realiai veikiant, kaip esminė tokios įrangos sudedamoji dalis, SiC keramikinė robotinė ranka tiesiogiai liečiasi su puslaidininkinėmis plokštelėmis ir taip pat turi atitikti itin aukštus švaros reikalavimus. „Semicorex“ SiC keramikinė robotų rankena yra pagaminta iš aukštos kokybės silicio karbido keramikos, po kurios atliekamas tikslus paviršiaus apdaila ir valymas, kuris gali tiksliai atitikti griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus dėl švaros ir paviršiaus lygumo. Tai labai padeda sumažinti plokštelių defektus ir pagerinti plokštelių gamybos išeigą.

SiC keramikaRobotinė ranka yra optimalus pasirinkimas atliekant terminio apdorojimo procedūras, tokias kaip atkaitinimas, oksidacija ir difuzija. Dėl išskirtinio šiluminio stabilumo ir aukščiausios silicio karbido medžiagų atsparumo šiluminiam smūgiui, SiC keramikinė robotinė rankena gali patikimai veikti ilgą laiką esant aukštai temperatūrai. Jis gali atsispirti šiluminio plėtimosi įtakai ir išlaikyti struktūrinį vientisumą esant šiluminiam įtempimui, taip užtikrinant pastovų plokštelės padėties nustatymo tikslumą.

Dėl savo tvirto atsparumo korozinėms dujoms ir skysčiams, SiC keramikos robotinė rankena gali stabiliai išlaikyti savo veikimą net ir veikiama agresyvios korozijos proceso atmosferos, tokios kaip ėsdinimas, plonos plėvelės nusodinimas ir jonų implantacija. Šis atsparumas korozijai pagerina puslaidininkinių plokštelių gamybos efektyvumą, efektyviai sumažindamas su korozija susijusių komponentų pažeidimo riziką ir sumažindamas poreikį dažnai keisti ir prižiūrėti.