SiC keramikos valtys

„Semicorex SiC“ keramikos valtys yra moderniausi vežėjai, specialiai sukurti saugiai gabenti, laikyti ir apdoroti puslaidininkių vaflius sunkiausiose chemiškai ir termiškai ekstremaliose aplinkose. Puslaidininkių pramonė greitai, patikimai, pasitikėdami ir be užterštumo reikalavo naujų veiklos standartų, kuriems reikėjo SiC keraminių valčių, kad būtų galima patenkinti netolerantiškus ir kritinius reikalavimus šiuolaikiniams vaflių gamybos procesams.

Stiprus šiluminis stabilumas ir stiprumas

SiC keraminių valčių apibūdinimas yra labai didelis šiluminis stabilumas. SiC keramikos valtys gali ištverti aukštesnę kaip 1600 ° C temperatūrą, neprarandant savo formos ar struktūros agresyvių šiluminio ciklo procesų metu. Dėl ypač mažo šiluminio išplėtimo koeficiento SiC keramikos valtys yra mažiau linkusios į iškraipymus ir įtrūkimus, leidžiančius griežtus nuokrypius ir bendrą vaflių saugumą valdant standžiomis sąlygomis.

Didelis grynumas ir cheminis atsparumas

SiC keramikos valtys yra pagamintos iš ypač aukšto grynumo silicio karbido. SiC keramikos valtys taip pat yra labai atsparios cheminiam skilimui, koroziniam ir nykstančiai plazmui. Inertinis SiC keraminių valčių pobūdis reiškia ėsdinančių dujų procesus, reaktyviąją aplinką, rūgščios sąlygos nesudarytų nei užteršimo iš valties, nei nieko tirpo, kad būtų pakenkta darbo procesui. SiC keraminių valčių neužteršiantis paviršius neleidžia nei dalelių generavimo, nei jonų išplovimo, taigi vaflinio paviršiaus nėra jokios pakenkti priemaišoms, kurios kliudo prietaiso veikimui ar išeigai.

Tikslioji inžinerija, skirta saugiai ir saugiai valdyti vaflius

SiC keramikos valtys yra gaminamos per griežtus nuokrypius, leidžiančius jiems tvarkyti įvairių skersmens vaflius, įskaitant 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm ir dar daugiau. SiC valčių konstrukcinis dizainas suteikia puikų lygumą, paralelizmą ir vienodą lizdo dydį, kad būtų išlaikyta tinkama vaflių plyšimo orientacija ir apsaugo vaflinio kraštus, kai perkeliant į kitą procesą ar įrankį. Visos SIC valtys gali būti suprojektuotos su pasirinktiniais matmenimis, kad atitiktų įrankių rinkinį arba atitiktų bet kokias automatizavimo specifikacijas.

Ilgas gyvenimo laikas ir ekonomiškesnis

SIC pakeičia tradicines medžiagas (kvarcas, aliuminio oksidas) žymiai pagerintu mechaniniu stiprumu, lūžio tvirtumu ir šiluminio smūgio atsparumu. Šis patvarumo lygis reiškia ilgesnį gyvenimą prieš „nesėkmę“, žymiai mažiau pakaitalų veikimo metu ir mažesnės bendros nuosavybės išlaidos. SIC ilgaamžiškumo nuoseklumas sumažins žemyno laiką ir padidins puslaidininkių gamybos linijų pralaidumą.

Atidarykite programas puslaidininkių procesuose

SiC keramikos valtys yra plačiai naudojamos puslaidininkių procesuose, tokiuose kaip:

LPCVD ir PECVD nusėdimas

Šiluminis oksidacija

Jonų implantacija

Atkaitinimas ir difuzija

Vaflių valymas ir cheminis apdorojimas

SiC keramikos rankenose yra suderinamos apdorojimo pritaikymai tiek atmosferoje, tiek vakuuminiame proceso kamerose, todėl tai yra idealus pasirinkimas liejykloms ir FAB, norinčioms sumažinti ir sumažinti užteršimo riziką, tuo pačiu padidinant produktyvumą.