SiC konsolinis irklas

Semicorex SiC (silicio karbido) konsolinė mentelė yra esminis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač difuzijos arba LPCVD (žemo slėgio cheminio nusodinimo garais) krosnyse, vykstant tokiems procesams kaip difuzija ir RTP (greitasis terminis apdorojimas). Jis skirtas palaikyti ir transportuoti plokšteles šių krosnių proceso vamzdeliuose.

Semicorex SiC konsolinis irklas daugiausia sudarytas iš silicio karbido – tvirtos ir termiškai stabilios medžiagos, žinomos dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai ir puikių mechaninių savybių. SiC pasirinktas dėl jo gebėjimo atlaikyti atšiaurias sąlygas, su kuriomis susiduriama puslaidininkinių krosnių aukštos temperatūros proceso aplinkoje. SiC konsolinės mentelės konstrukcija leidžia jai išsikišti į krosnies proceso vamzdį, o viename gale tvirtai pritvirtinta prie vamzdžio. Ši konstrukcija užtikrina apdorojamų plokštelių stabilumą ir atramą, tuo pačiu sumažinant trukdžius krosnies viduje esančiai šiluminei aplinkai.

SiC konsolinis padas skirtas saugiai laikyti puslaidininkines plokšteles proceso vamzdyje, vykstant įvairiems aukštos temperatūros procesams, tokiems kaip difuzija ir RTP. Jo tvirta konstrukcija užtikrina, kad jis gali atlaikyti ekstremalias temperatūras ir cheminę aplinką, su kuria susiduriama vykstant šiems procesams, be degradacijos ar gedimo. SiC konsolinės mentelės yra suprojektuotos taip, kad būtų suderinamos su daugybe pramonėje dažniausiai naudojamų puslaidininkinių plokštelių dydžių ir formų. Jie dažnai pritaikomi, kad atitiktų konkrečias krosnies konfigūracijas ir proceso reikalavimus.