SiC valtis

Semicorex SiC valtys yra kruopščiai pagamintos iš didelio grynumo SiC keramikos – medžiagos, kuri garsėja neprilygstamu terminiu stabilumu, išskirtiniu mechaniniu stiprumu ir nepajudinamu cheminiu inertiškumu. Dėl šių savybių jis yra puikus pasirinkimas griežtoms puslaidininkių gamybos sąlygoms.

SiC valtys pasižymi neprilygstamu mechaniniu stiprumu ir ilgaamžiškumu dėl medžiagos kietumo ir išskirtinio atsparumo dilimui. Tai leidžia jiems ištverti sudėtingą didelio našumo puslaidininkių gamybos aplinką, nepasiduodant laipsniškam nusidėvėjimui. Skirtingai nuo kitų medžiagų, SiC laikui bėgant išlaiko savo struktūrinį vientisumą, todėl žymiai sumažėja poreikis dažnai keisti keitimą ir sumažinama gamybos operacijų prastovos trukmė – galiausiai puslaidininkių gamintojai sutaupo daug išlaidų.

Cheminis SiC inertiškumas dar labiau sustiprina jo tinkamumą puslaidininkių procesams, nes jis yra labai atsparus cheminiam reaktyviųjų dujų ir dažniausiai naudojamų medžiagų, tokių kaip chloras ir fluoras, poveikiui. Šis tvirtas atsparumas užtikrina, kad SiC valtys neužterštų plokštelių apdorojimo metu ir taip išsaugomas gaminamų puslaidininkinių įtaisų grynumas ir kokybė. Procesams, kuriems reikalingas dar didesnis cheminis atsparumas, SiC valtys gali būti padengtos papildomu SiC sluoksniu, suteikiančiu papildomą barjerą nuo cheminio poveikio ir paaukština valties paviršiaus apdailą, kad sumažėtų užteršimo kietosiomis dalelėmis rizika.

Šiose valtyse naudojamos SiC keramikos grynumas yra labai svarbus, nes puslaidininkių gamyboje reikalingos medžiagos su minimaliomis priemaišomis. Net nedideli teršalų kiekiai gali pabloginti plokštelių elektrines savybes ir sukelti galutinių prietaisų defektus. SiC valtys yra pagamintos iš ypač didelio grynumo SiC keramikos, kad būtų užtikrinta, jog į proceso aplinką nepatektų jokių priemaišų, net esant aukštesnei temperatūrai ir puslaidininkių gamybai būdingomis reaktyviosiomis sąlygomis. Šis grynumas sustiprina SiC valčių patikimumą kritiniuose proceso etapuose.

SiC valčių suderinamumas su įvairia puslaidininkine įranga yra labai svarbus. SiC universalumas leidžia jį tiksliai apdirbti, kad atitiktų konkrečius matmenis ir konfigūraciją, reikalingus skirtingų tipų puslaidininkinėms krosnims ir reaktoriams, todėl jie tinkami įvairioms reikmėms – nuo ​​nedidelio masto tyrimų ir plėtros operacijų iki didelio masto gamybos linijų. Be to, išskirtinis medžiagos šilumos laidumas ir šilumos išsklaidymo savybės prisideda prie efektyvesnės temperatūros kontrolės apdorojimo metu, dar labiau padidindamos puslaidininkinių įtaisų našumą ir našumą.