SiC valčių laikikliai

„Semicorex Sic“ valčių laikikliai yra tikslūs atraminiai įtaisai, skirti valdyti vaflines valtis aukštos temperatūros procesų metu gaminant puslaidininkius. Pagaminta iš aukšto grynumo silicio karbido (SIC), šie laikikliai pasižymi puikiu šiluminiu stabilumu, cheminiu atsparumu ir mechaniniu tvirtumu, esminių savybių, kai jie naudojami tokiuose procesuose kaip difuzija, oksidacija ir epitaksinis augimas.

Reikalaujant puslaidininkių gamybos aplinkoje labai svarbu apsaugoti vaflių vientisumą ir sumažinti užteršimą. SiC Boat Holders offer a solid, inert platform that can tolerate extreme furnace environments while maintaining integrity without deformation and without release of contaminants. Their chemical inertness allows their use with reactive process gasses, while their thermal transmittance promotes even heating of the surface of the wafers for consistent processing.

Kiekvienas „SiC“ valčių laikiklis yra pagamintas labai tolerancijai, kad būtų galima tiksliai tiksliai nutraukti matmenų, todėl juos lengva pritaikyti ir pritaikyti bet kokio tipo vafliniams valčių tipui ir automatizuotai apkrovos konfigūracijai. Jų standi struktūra ne tik sukuria stiprią, stabilią ir tinkamą vaflių valčių palaikymą, bet ir sumažina tikimybę mikroviliavimosi ar padėties pokyčiams gali turėti vafliams. Be to, silicio karbidas pasižymi puikiu atsparumu nusidėvėjimui ir gali valdyti pakartotinį šilumos dviračių sportą, kad ilgą laiką užtikrintų mažai prastovų ir pakeistų buteliukų dalis.

Unikalūs silicio karbido požymiai gali suteikti papildomos naudos, susijusios su proceso švara. SIC, skirtingai nuo metalų ar žemesnės kokybės keraminių medžiagų, SIC nesigilina į opulas ar chemiškai skaidosi esant ekstremalioms temperatūroms ar plazmoje. This makes SiC boat holders a great tool for manufacturers trying to limit cleanroom contamination for advanced semiconductor nodes that require high yield and purity.

Semicorex SiC Boat Holders are produced using unique molding and sintering processes that ensure uniform microstructure and mechanical performance between batches and across multiple boat holders. Pavyzdžiui, gali būti pritaikyta laikiklio forma arba lizdo konfigūracija, taip pat montavimo rūšis.

Nesvarbu, ar naudojami vertikaliose krosnyse, ar horizontaliuose reaktoriuose, pritaikius „Semicorex Sic“ valčių laikiklius, atitiks naujos kartos puslaidininkių gamintojo valdymo nuokrypius. Jei pasirinksite „Semicorex“ produktus, žinosite, kad dirbote su tiekėju, kuris yra išmanantis, skirtas materialiajai kompetencijai, ir stengiasi nuolat diegti naujovių keramikos komponentus patikimumo ir pristatymo atžvilgiu.