Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainis

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar paprastai gaminamas iš sintetinio lydyto kvarco – medžiagos, žinomos dėl išskirtinio grynumo, atsparumo aukštai temperatūrai ir mažo šiluminio plėtimosi savybių. Tai užtikrina, kad kamera nepatenka į puslaidininkių gamybos procesą teršalų ar priemaišų.

Puslaidininkinis kvarcinis indelis paprastai yra cilindro arba kupolo formos, su plokščiu arba šiek tiek išlenktu pagrindu, kad tilptų puslaidininkines plokšteles arba substratus. Jame yra tiksliai sukurtas hermetiškas sandarinimo mechanizmas, pvz., flanšas arba sandarinimo žiedas, kad apdorojimo metu kameroje būtų palaikomas vakuumas arba kontroliuojama atmosfera.

Puslaidininkinis kvarcinis indelis pasižymi puikiu optiniu aiškumu, todėl operatoriai gali vizualiai stebėti kameros viduje vykstančius procesus nepakenkiant tikslumui ir nesukeliant trukdžių. Kvarcas yra labai atsparus daugumos rūgščių, bazių ir tirpiklių, dažniausiai naudojamų puslaidininkių gamybos procesuose, cheminiam poveikiui. Tai užtikrina kameros vientisumą ir apsaugo nuo substratų užteršimo.

Kvarcas turi aukštą lydymosi temperatūrą ir šiluminį stabilumą, todėl puslaidininkinis kvarcinis indelis gali atlaikyti aukštą temperatūrą, atsirandančią nusodinimo ar atkaitinimo procesų metu, be deformacijos ar skilimo.

Programos:

Nusodinimas: Puslaidininkiniai kvarciniai indeliai naudojami įvairiuose nusodinimo metoduose, tokiuose kaip cheminis nusodinimas garais (CVD), fizinis nusodinimas garais (PVD) ir nusodinimas atominiu sluoksniu (ALD), siekiant tiksliai ir vienodai nusodinti plonas medžiagų plėveles ant puslaidininkinių substratų.

ėsdinimas: jie naudojami plazminio ėsdinimo procesuose, siekiant selektyviai pašalinti medžiagą iš puslaidininkinių plokštelių, sukuriant sudėtingus modelius ir struktūras, turinčias didelį tikslumą ir pakartojamumą.

Atkaitinimas: Atkaitinimo procesuose naudojami puslaidininkių plokštelių valdomi terminiai apdorojimo procesai, palengvinantys kristalizaciją, priemaišų aktyvavimą ir įtempių mažinimą nusodintose plėvelėse.