15 colių kvarcinis varpelio stiklainis

Semicorex 15" Quartz Bell Jar sukurtas taip, kad atitiktų šiuos iššūkius ir yra didelio našumo sprendimas vidutinio ir didelio masto paketiniam apdorojimui, kai šiluminis vienodumas ir medžiagos grynumas yra būtini norint maksimaliai padidinti išeigą. Puslaidininkių ir plonasluoksnių plėvelių pramonėje proceso kameros vientisumas yra svarbiausias. Kadangi plokštelių dydžiai didėja ir nereikia susitraukti. inertiška aplinka tampa nediskutuotina.

1. Medžiagų mokslas: lydyto silicio dioksido grynumas

Mūsų varpelio stiklainio pagrindas yra labai grynaslydytas silicio dioksidas (kvarcas). Skirtingai nuo standartinio stiklo, kvarcas beveik visiškai sudarytas iš SiO2, suteikiantis unikalių savybių, kurios yra gyvybiškai svarbios puslaidininkių gamybai:

Itin mažas užterštumas: mūsų kvarcas yra apdorotas taip, kad metaliniai mikroelementai (pvz., Al, Fe, Na ir K) būtų sumažinti iki milijardo dalių (ppb) lygio. Tai apsaugo nuo priemaišų difuzijos į plokštelę aukštos temperatūros ciklų metu, užtikrinant prietaisų elektrinį vientisumą.

Aukščiausias atsparumas šiluminiam smūgiui: kvarcas turi beveik nulinį terminio plėtimosi koeficientą (CTE). Tai leidžia 15 colių Quartz Bell Jar atlaikyti greitą temperatūros pakilimą ir gesinimą be lūžių ar struktūrinio nuovargio pavojaus – esminis reikalavimas didelio našumo reaktoriams.

Puikus cheminis inertiškumas: Kvarcas yra labai atsparus daugumai rūgščių (išskyrus vandenilio fluorido rūgštį) ir korozinių proceso dujų, todėl kamera nesuyra ar neišsiskiria agresyvių ėsdinimo ar nusodinimo ciklų metu.

2. Tikslioji inžinerija ir optinis skaidrumas

15 colių Quartz Bell Jar užtikrina maksimalų tūrį ir optimalią dujų srauto dinamiką, kad būtų galima apdoroti plokštes. Stiklainis turi vertikalų kaminą (taip pat žinomą kaip kaklelis), kuris optimaliai suprojektuotas taip, kad būtų tiekiamas dujas arba padėtų iš indelio ištraukti dujas per vakuumą, kaip parodyta aukščiau esančiame paveikslėlyje.

Optinis skaidrumas – aukštas perdavimo lygiskvarco medžiagaspinduliuoti bangos ilgius ultravioletinėje, matomoje ir infraraudonojoje spektro srityse leidžia apdoroti realiu laiku, taip pat naudoti išorinius lempos šildytuvus greitam terminiam apdorojimui (RTP).

Sustiprinti sandarinimo paviršiai – stiklainio kaklelis turi specialiai sukurtą nepermatomą baltą sandariklį (taip pat vadinamą įžeminimo jungtimi), kuris užtikrina hermetišką (oru sandarią) ir vakuumui nelaidžią sąsają tarp reaktoriaus pagrindo plokštės ir stiklainio.

Atkaitinimas, siekiant sumažinti įtampą – visi 15 colių kvarcinio varpelio indeliai yra griežtai atkaitinami, siekiant sumažinti vidinį mechaninį įtempį, kurį stiklainiui sukėlė mechaninis pūtimo ar formavimo procesas, todėl labai sumažėja tikimybė, kad stiklainis spontaniškai suges, kai jam veikia vakuuminė apkrova.

3. Semiconductor Fab

Mūsų 15" Quartz Bell Jar yra specialiai sukurtas integruoti į šiuos didelės vertės procesus:

Silicio epitaksija: suteikia skaidrų, nereaguojantį indą aukštos kokybės vieno kristalo silicio sluoksniams auginti.

Plazma patobulintas CVD (PECVD): Atlaiko korozinę plazmos aplinką, išlaikant aukštą dielektrinį stiprumą.

Difuzija ir oksidacija: tarnauja kaip švari, labai karšta kamera užtvarų oksidų susidarymui ir priedo įvedimui.

Optinio pluošto ruošinių gamyba: Idealiai tinka didelio grynumo silicio dioksido sluoksnių nusodinimui gaminant specialų stiklą.

„Semicorex“ kiekvieną varpelio stiklainį tvarkome kaip tikslią laboratorinę įrangą. Mūsų procesas apima: Griežtą medžiagų tiekimą su patikrintu elektroniniu lygiukvarcasluitai; pažangi gamyba, sujungianti tradicinius stiklo pūtimo įgūdžius su CNC valdomu šlifavimu ir poliravimu; ir kruopštus patikrinimas naudojant poliarizuotą šviesą, siekiant aptikti liekamąjį įtempį ir lazerio interferometriją, kad būtų galima tiksliai patikrinti matmenis.