Palydovinė plokštė

„Semicorex“ palydovinė plokštė yra gyvybiškai svarbus vaflių nešiklis epitaksinio augimo proceso metu, garantuojanti vienodą nusėdimą ir optimalų proceso efektyvumą. Sukurta iš aukšto grynumo grafito ir padengtas tvirtu silicio karbido (SIC) sluoksniu, ši plokštelė suteikia išskirtinį šiluminį stabilumą, cheminį atsparumą ir mechaninį stiprumą, sukietėdama savo, kaip nepakeičiamo komponento, aukšto našumo puslaidininkių gamybos, padėtį.

Esant didelio grynumo grafito bazei, palydovinė plokštelė išsiskiria šilumos laidumu ir struktūriniu vientisumu.SiC dangažymiai padidina jo patvarumą, užtikrinant atsparumą aukštai temperatūrai, cheminį inertiškumą ir dramatiškai sumažinant dalelių susidarymą. Šis galingas derinys užtikrina, kad plokštė ištvertų atšiaurias apdorojimo sąlygas, nuolat veikdama aukštu lygiu. Grafito bazė palengvina efektyvų šilumos perdavimą, užtikrindamas vienodą temperatūros pasiskirstymą per vaflius, o SIC danga apsaugo nuo korozinių procesų dujų, užkirsdamas kelią užteršimui ir prailgindama tarnavimo laiką. Be to, SIC paviršius sumažina dalelių išsiskyrimą, o tai yra labai svarbi norint pasiekti aukšto pajamingumo puslaidininkių gamybą.

Sukurtas specialiai sklandžiai integracijai su „Aixtron G5+“ sistemomis, palydovinė plokštė garantuoja tikslų vaflių padėties nustatymą ir sukimosi pusiausvyrą, būtiną stabilioms šiluminėms sąlygoms palaikyti ir sumažinti defektų greitį. Pažangi medžiagų plokštelės sudėtis ne tik pratęsia savo tarnavimo laiką, bet ir žymiai sumažina veiklos sąnaudas ir padidina gamybos produktyvumą.

Pirmiausia naudojamas metalo organinių cheminių garų nusėdimo (MOCVD) procese, palydovinė plokštė yra labai svarbi auginant epitaksinius sluoksnius ant puslaidininkių plokštelių. Jis vaidina pagrindinį vaidmenį gaminant pažangių puslaidininkių įrenginius, įskaitant šviesos diodus, SIC ir GAN pagrįstą galios elektroniką, fotoninius ir optoelektroninius komponentus bei aukšto dažnio RF įrenginius. Užtikrinant stabilias šilumines sąlygas ir sumažinant užteršimą, palydovo plokštelė garantuoja pastovų epitaksinio sluoksnio augimą, todėl pagerina vaflių valdymą ir didesnį derlingumo greitį. Jo optimizuotas dizainas efektyviai apsaugo vaflių atramą, sumažina defektus ir užtikrina tikslumą visuose puslaidininkių apdorojimo etapuose.

„Semicorex“ palydovinė plokštė yra esminis AIXTRON G5+ epitaksijos reaktorių komponentas, užtikrinantis neprilygstamą patvarumą, cheminį atsparumą ir šiluminį veikimą. Dėl pažangiausios medžiagos kompozicijos ir inžinerijos yra kritiški puslaidininkių gamybos procesui, užtikrinant aukšto pajamingumo ir aukštos kokybės vaflių gamybą. Investuokite į palydovo plokštelę, kad padidintumėte puslaidininkių gamybą ir pasiektumėte puikų epitaksinio augimo procesų kompetenciją.