„Semicorex“ kvarcinis rezervuaras šlapiam apdorojimui, taip pat žinomas kaip kvarco vonia, yra ypač svarbus drėgniems procesams, naudojamiems plokštelių gamybai.**
Kvarcinis bakas šlapiam apdorojimui, pagamintas iš puslaidininkinio kvarco, pasižymi išskirtiniu patvarumu ir nereaguoja į įvairias chemines medžiagas, įskaitant sieros rūgštį (H2SO4), vandenilio peroksidą (H2O2) ir standartinius švarius tirpalus (SC1).
Vienas iš pagrindinių kvarcinio rezervuaro, skirto šlapiam apdorojimui, panaudojimo plokštelių gamyboje yra plokštelių valymas. Atliekant įvairius gamybos etapus, plokštelės gali būti užmaskuotos, kad būtų išėsdintos konkrečios dalys arba apribota difuzija tam tikrose vietose. Pasibaigus tam tikram proceso etapui, maskavimo medžiaga turi būti kruopščiai nuvalyta, kad būtų galima paruošti plokštelę kitam veiksmui. Kvarcinis bakas šlapiam apdorojimui atlieka lemiamą vaidmenį šiame valymo procese, užtikrinant, kad plokštelės būtų išvalytos efektyviai, nepaliekant jokių likučių ar dalelių, kurios galėtų užteršti tolesnius apdorojimo etapus.
„Quartz the Tank for Wet Processing“ gebėjimas atsispirti agresyvioms cheminėms medžiagoms yra svarbiausias drėgnojo apdorojimo atveju. Šios talpyklos sukurtos taip, kad atlaikytų stiprias chemines medžiagas, naudojamas ėsdinimo ir valymo procesuose, nereaguodamos su jomis. Šis nereaktyvumas užtikrina, kad cheminės medžiagos išliktų veiksmingos ir nevyktų nepageidaujamų cheminių reakcijų, kurios galėtų pakenkti plokštelių vientisumui.
Valant plokšteles labai svarbu kuo labiau sumažinti plokštelių užteršimą dalelėmis. Semicorex kvarcinis bakas šlapiam apdorojimui yra sukurtas taip, kad sumažintų užteršimo riziką, užtikrinant, kad plokštelės būtų kruopščiai ir efektyviai išvalytos. Mūsų kvarciniai rezervuarai gali būti tiekiami šildomais ir recirkuliaciniais modeliais, kurie leidžia tiksliai kontroliuoti temperatūrą ir nuolat cirkuliuoti valymo tirpalus.
Kita svarbi Semicorex kvarcinio bako savybė šlapiam apdorojimui yra didelė šiluminė varža. Šios talpyklos gali veikti iki 190°C temperatūroje, tinkamos procesams, kuriuose naudojami valymo ar ėsdinimo tirpalai. Didelė šiluminė varža užtikrina, kad rezervuarai išlaikys savo konstrukcijos vientisumą ir našumą net esant aukštai temperatūrai. Tai ypač svarbu procesuose, kuriuose temperatūros kontrolė yra labai svarbi norint pasiekti norimus rezultatus.
Kvarcinis bakas šlapiam apdorojimui taip pat turi mažą šiluminį plėtimąsi ir didelį atsparumą šiluminiams smūgiams. Mažas šiluminis plėtimasis iki minimumo sumažina įtrūkimų ar deformacijų riziką dėl temperatūros svyravimų, taip užtikrinamas rezervuarų ilgaamžiškumas ir patikimumas. Didelis atsparumas šiluminiams smūgiams leidžia kvarciniams bakams atlaikyti greitus temperatūros pokyčius, nepažeidžiant jų konstrukcijos vientisumo. Šios šiluminės savybės yra būtinos norint išlaikyti šlapiojo apdorojimo etapų tikslumą ir patikimumą plokštelių gamyboje.
Didelis skaidrumas yra dar vienas Semicorex kvarcinio rezervuaro, skirto šlapiam apdorojimui, pranašumas. Kvarcinės medžiagos skaidrumas leidžia vizualiai apžiūrėti plokšteles ir valymo ar ėsdinimo tirpalus apdorojimo metu. Šis matomumas pagerina proceso kontrolę ir stebėjimą, užtikrinant, kad bet kokios problemos būtų aptiktos ir sprendžiamos greitai. Galimybė vizualiai stebėti procesą yra ypač svarbi siekiant užtikrinti plokštelių valymo ir ėsdinimo etapų kokybę ir nuoseklumą.
„Semicorex“ mes naudojame pažangias apdirbimo technologijas, kad pagamintume aukštos kokybės kvarcinį baką šlapiam apdorojimui. Mūsų gamybos galimybės apima deimantinį diską ir pjovimą lazeriu pagal dydį, užtikrinant tikslius matmenis ir aukštos kokybės apdailą. Taip pat naudojame labai poliruotus paviršius, kad sumažintume dalelių susidarymo ir užteršimo riziką. Mūsų patyrę kvarciniai suvirintojai ir staklių meistrai sukuria didelio grynumo kvarcinius rezervuarus su didelio stiprumo suvirintomis įvadomis ir zondo laikikliais, pritaikytus specifiniams mūsų klientų poreikiams.
Siekdami pagerinti šlapiojo apdorojimo kvarcinio rezervuaro našumą ir ilgaamžiškumą, mes juos atkaitiname, kad sumažintume šiluminį įtampą. Atkaitinimas yra terminio apdorojimo procesas, kuris sumažina kvarco medžiagos vidinius įtempius, pagerina jos atsparumą šiluminiam smūgiui ir padidina bendrą patvarumą.
Individualūs dydžiai ir konfigūracijos yra būtini norint patenkinti įvairius puslaidininkių gamybos procesų reikalavimus. „Semicorex“ siūlome platų nestandartinių dydžių ir konfigūracijų kvarciniams bakams asortimentą, todėl galime pasiūlyti sprendimus, pritaikytus specifiniams mūsų klientų poreikiams. Nesvarbu, ar pridedame didelio stiprumo suvirintus kvarcinius įvadus, zondo laikiklius ar kitas pasirinktines funkcijas, mes glaudžiai bendradarbiaujame su savo klientais, kad pristatytume tikslias jų specifikacijas atitinkančius kvarcinius bakus.