„Quartz“ skysčio laikymo bakas

„Semicorex Quartz“ skysčio laikymo bakas yra specialiai sukurtas konteineris, skirtas puslaidininkių šlapioms švaroms, kai skysčiams tvarkyti reikia nepaprasto lygio švaros ir medžiagų stabilumo. Visų pirma, šis bakas yra naudojamas atliekų ar liekanų skysčiams rinkti iš vaflių valymo programų. Tai neįkainojama dėl proceso produktyvumo ir užteršimo kontrolės. Drėgno švaraus proceso metu puslaidininkių vaflių skalavimas apima didelius ultrapūrus vandens ar cheminių reagentų, kurie skalavimo pabaigoje tampa atliekomis, kiekiu. Be to, likę skysčiai po skalavimo turi būti surinkti, nes jis turi potencialių pėdsakų priemaišų arba vertingų cheminių sudedamųjų dalių, kurie neturi nusileisti nuo kanalizacijos. Atliekant skysčių atliekas, atliekant dengimo veiksmus, tokius kaip fotorezistų pritaikymas, kai reikia surinkti papildomus likučius ar atliekas chemines medžiagas. Taigi „Quartz“ skysčio laikymo bakas turi puikų rezultatą, kad būtų užtikrintas didelis grynumas, cheminis suderinamumas ir mažos teršalų savybės.

Tankas yra pagamintas iš didelio grynumo lydyto kvarco, kuris yra labai atsparus stiprioms rūgščioms, šarmams ir tirpikliams, reguliariai naudojamiems puslaidininkių valymui ir litografijoje. Nesvarbu, ar įprastas konteineris, kvarcas suteikia gabalėliams skystą medžiagą geriausią galimybę, kad nebus antrinės teršalų, išplovimo ar nepageidaujamo jonų poveikio. Vienas iš pirmaujančių kvarco skysčio laikymo bako aspektų yra galimybė palaikyti analitines darbo eigas puslaidininkių Fabse, nes likučiai skysčiai, surinkti kvarco inde, gali būti naudojami paskesniuose procesuose, tokiuose kaip priemaišų aptikimas, užteršimo analizė ir cheminis perdirbimas. Kvarco savybėms būdingi, jame gali būti saugiai liekantys skysčiai ir leisti vizualiai įvertinti nerizikuodamas sąveikos, atsižvelgiant ir į jo inertiškumą ir skaidrumą, be jo šiluminio stabilumo, kuris leidžia bet kokiam rezervuaro skysčiui lengvai pagreitinti bet kokią proceso temperatūrą, nerizikuojant ar paveikti skysčio. Nepaisant to, „Quartz“ skysčio laikymo bakas yra skirtas tiek atliekų surinkimui, tiek trumpalaikiam laikymui prieš perkeliant ar apdorojant.

Kiekviena proceso užteršimo kontrolės detalė yra svarbi, ypač kai pažengusiųjų įrenginių gamybos mazgai susitraukia, o švaros parametrai tampa griežtesni. „Quartz“ skysčio laikymo bakas garantuoja, kad FAB operatoriai įsitikinę, kad atliekų tvarkymas netampa antrinio užteršimo šaltiniu. Sulaikant likusius valymo tirpalus arba perteklinius proceso skysčius, jis neleidžia aukščiau esančioms ir pasroviui esančioms darbo eigoms galioti. Be to, bakas palaiko FAB tvarumo tikslus, nes surinkti skysčiai gali būti apdorojami reagentų gryninimui ir pakartotiniam naudojimui, taigi naudojant dar vieną mažiau cheminių medžiagų reikalaujantį procesą ir dėl to apskritai apkrova yra mažesnė.

Praktiniu požiūriu „Quartz“ skysčio laikymo rezervuaro dizainas leidžia jį lengvai įtraukti į šlapio valymo aparatūros ir cheminio valdymo sistemas. Formos koeficientas gali būti pritaikytas esamoms įrankių konfigūracijoms. Tikslios gamybos metodai užtikrina apvalius matmenis, o sklandus vidinis paviršius lengvai gabenami ir laikys visus skysčius jūsų puslaidininkių Fab aplinkoje. Nepooriška kvarco struktūra užkirs kelią teršalų absorbcijai ir leis valyti rezervuarą, todėl jis gali būti naudojamas pakartotinai, skirtingai nuo įprastų plastikinių konteinerių, veikiančių cheminėse kontroliuojamose aplinkose, atliekant didelę tūrio operacijas.

Esmė, „Quartz“ skysčio laikymo bakas yra specialiai sukurtas atsižvelgiant į visus puslaidininkių šlapio valymo ir dengimo pritaikymą. Sukurdami geriausią įmanomą medžiagos grynumą, cheminį pasipriešinimą ir be užteršimo skysčių laikymą puslaidininkių operatyviniame įrenginyje, FAB gali efektyviai valdyti savo procesą, turėdami mažai užteršimo. Nesvarbu, ar FAB naudoja baką, kad gautų tiesioginį atliekų surinkimą, reagento ir kt. Atgaivinimui, ar priemaišų analizei, kritinių proceso žingsnių istorija išlieka pradinėje būsenoje nepakenkiant operacijai. Kai norite maksimaliai padidinti derlių, sumažinkite riziką savo darbo procesui, kad būtų galima prarasti stabilumą, ir maksimaliai padidinti šalutinių produktų cheminio valdymo efektyvumą, be užteršimo kvarco yra vienintelis pasirinkimas, kuris siūlo patikimą našumą su visu šlapiu valymu.