Porėtas grafitas su TaC danga

„Semicorex Porous Graphite“ su „TaC“ danga sujungia unikalias akytojo grafito savybes su apsauginėmis ir sustiprinančiomis TaC dangos savybėmis, o tai žymiai pagerina tradicines medžiagas, naudojamas aukštos temperatūros tigliuose.

Grafitas ir akytasis grafitas, nors ir plačiai naudojami dėl jų šiluminio stabilumo ir elektros laidumo, kelia didelių iššūkių aukštos temperatūros aplinkoje. Visų pirma, porėtas grafitas yra pageidautinas dėl didelio pralaidumo, kuris užtikrina geresnį dujų srautą ir vienodą temperatūros pasiskirstymą. Tačiau dėl didelio poringumo jis yra mechaniškai silpnas, todėl sunku tiksliai apdirbti ir formuoti medžiagą. Be to, dėl porėtos struktūros gali išsiskirti dalelės, kurios užteršia SiC kristalus. Akytasis grafitas taip pat yra jautrus cheminiam ėsdinimui ir skilimui aukštoje temperatūroje ir reaktyvioje aplinkoje, todėl pažeidžiamas tiglio vientisumas. Panašiai, nors tantalo karbido (TaC) milteliai dažnai naudojami dengti arba maišyti su grafitu, siekiant pagerinti jo savybes, jų vienodas panaudojimas ir sukibimas gali būti sudėtingas, todėl paviršiai nelygūs ir gali būti užteršti.

Poruotas grafitas su TaC danga efektyviai įveikia aukščiau išvardintus iššūkius, integruodamas geriausias abiejų medžiagų savybes:

Padidintas mechaninis stiprumas: TaC danga žymiai padidina akytojo grafito mechaninį stiprumą, todėl akytasis grafitas su TaC danga lengviau apdirbamas ir formuojamas nepažeidžiant medžiagos struktūrinio vientisumo.

Sumažintas dalelių išsiskyrimas: TaC danga sudaro apsauginį sluoksnį virš akytojo grafito, sumažindama dalelių išsiliejimo ir SiC kristalų užteršimo tikimybę.

Patobulintas cheminis atsparumas: TaC yra labai atsparus cheminiam ėsdinimui ir skilimui, suteikdamas patvarią barjerą, apsaugančią akytą grafitą nuo reaktyvių dujų ir aukštos temperatūros aplinkos.

Šiluminis stabilumas ir laidumas: tiek grafitas, tiek TaC pasižymi puikiu šiluminiu stabilumu ir laidumu. Akytojo grafito ir TaC dangos derinys užtikrina, kad tiglis išlaikytų vienodą temperatūros pasiskirstymą, o tai labai svarbu, kad SiC kristalai augtų be defektų.

Optimizuotas pralaidumas: būdingas grafito poringumas užtikrina efektyvų dujų srautą ir šilumos valdymą, o TaC danga užtikrina, kad šis pralaidumas būtų išlaikytas nepažeidžiant medžiagos vientisumo.

Semicorex poringas grafitas su TaC danga yra reikšmingas SiC kristalų auginimui naudojamų medžiagų pažanga. Sprendžiant mechaninius, cheminius ir šiluminius iššūkius, susijusius su tradiciniais grafito ir TaC milteliais, akytasis grafitas su TaC danga užtikrina aukštesnės kokybės SiC kristalus su mažiau defektų. Akytojo grafito pralaidumo ir apsauginių TaC savybių derinys yra tvirtas sprendimas aukštoje temperatūroje, todėl tai yra būtina medžiaga pažangių puslaidininkių ir elektroninių prietaisų gamyboje.