Porėtas aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas

„Semicorex“ poringas aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas yra nešiklio platforma gaminiams pritvirtinti naudojant vakuuminio siurbimo principą, jo perdavimo vakuumo dalis paprastai yra aliuminio oksido porėtos keramikos plokštės. Porėta keraminė plokštė įmontuota į pagrindo angą, jos perimetras suklijuojamas ir sandarinamas prie pagrindo, o pagrindas apdirbamas tankiomis keramikos ar metalo medžiagomis. Esant minusiniam slėgiui darbo aplinkoje, griebtuvas yra prijungtas prie vakuuminio siurblio per porėtą struktūrą, esančią keraminės plokštės viduje, kad trauktų orą, todėl sritis po plokštele sudaro vakuuminį plotą, kuris yra daug mažesnis už išorinį atmosferos slėgį. Esant dideliam slėgio skirtumui, plokštelė tvirtai pritvirtinama prie griebtuvo paviršiaus. Paprastai kuo didesnis vakuumo laipsnis po plokštele, tuo stipresnis griebtuvo ir ruošinio sukibimas ir tuo stipresnė adsorbcijos jėga.

Puslaidininkių ir mikroelektronikos pramonėje tikslumas yra ne tik reikalavimas – tai standartas. Akytasis aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas (taip pat žinomas kaip keraminis vakuuminis griebtuvas) yra labai svarbus komponentas, skirtas užtikrinti vienodą, negadinantį gležnų substratų siurbimą litografijos, tikrinimo ir pjaustymo kubeliais metu.

Kas yra akytasis aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas?

Skirtingai nuo tradicinių metalinių griebtuvų, kuriuose siurbimui sukurti naudojami apdirbti grioveliai, akytasis keraminis griebtuvas naudoja specializuotą mikroskopinių porų struktūrą. Tai leidžia vakuuminį slėgį tolygiai paskirstyti visame ruošinio paviršiuje, užkertant kelią „įdubimams“ ar deformacijoms, kurios dažnai pastebimos naudojant griovelius.

Pagrindinės techninės specifikacijos

Norėdami suprasti šių komponentų veikimą, apžvelgiame didelio grynumo Al2O3 medžiagų savybes:

Kodėl verta rinktis porėtą aliuminio oksidą, o ne tradicines medžiagas?

1. Puikus lygumas ir vienodumas

Mikroskopinė porų struktūra užtikrina, kad vakuumo jėga būtų taikoma 100% kontaktinio ploto. Remiantis pramonės duomenimis, vienodas siurbimas sumažina plokštelių įtempimą iki 40 %, palyginti su tradiciniais nerūdijančio plieno griebtuvais su grioveliais.

2. Didelis terminis stabilumas

Aliuminio oksido keramika turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą (CTE). Apdorojant aukštoje temperatūroje arba tikrinant lazeriu, griebtuvas išlaiko savo matmenis, todėl fokusavimo gylis išlieka pastovus.

3. ESD ir taršos kontrolė

Didelio grynumo aliuminio oksidas yra chemiškai inertiškas ir natūraliai atsparus korozijai. Be to, norint išvengti elektrostatinės iškrovos (ESD), dėl kurios kai kuriose aplinkose sumažėja beveik 25 % puslaidininkių išeigos, galima padengti specializuotas „juodojo aliuminio oksido“ arba antistatines dangas.

Pagrindiniai pritaikymai aukštųjų technologijų gamyboje

Puslaidininkinių plokštelių apdorojimas

Pagrindinis naudojimo atvejis yra fotolitografija ir plokštelių zondavimas. Ypatingas lygumas (<2 μm) užtikrina, kad plokštelė išliks siaurame pažangių optinių sistemų lauko gylyje.

Plonasluoksnių saulės elementų gamyba

Lankstiesiems arba ypač ploniems pagrindams tradiciniai vakuuminiai kanalai gali sukelti fizinę žalą. „Kvėpuojantis“ porėtos keramikos paviršius veikia kaip švelni oro pagalvė arba siurbimo plokštė, apsauganti trapius sluoksnius.

Optinių lęšių šlifavimas

Akytas aliuminio oksidas naudojamas lęšiams laikyti preciziško šlifavimo metu, kai dėl bet kokios vibracijos ar netolygaus slėgio gali atsirasti optinių aberacijų.

Dažnai užduodami klausimai (DUK)

1 klausimas: kaip valyti porėtą aliuminio oksido vakuuminį griebtuvą?

A: Valymas yra gyvybiškai svarbus norint išlaikyti siurbimą. Rekomenduojame naudoti ultragarsinį valymą dejonizuotame vandenyje arba specializuotuose tirpikliuose. Kadangi aliuminio oksidas yra chemiškai stabilus, jis gali atlaikyti daugumą rūgščių ar šarminių valiklių. Įsitikinkite, kad griebtuvas yra sausas, kad pašalintumėte drėgmę iš porų.

2 klausimas: ar porų dydį galima pritaikyti konkretiems substratams?

A: Taip. Mažesnės poros (apie 10 μm – 20 μm) geriau tinka itin plonoms plėvelėms, kad būtų išvengta „išspaudimo“, o didesnės poros užtikrina didesnį oro srautą sunkesniems ar poringesniems ruošiniams.

3 klausimas: kokia yra maksimali darbinė temperatūra?

A: Nors pati keramika gali atlaikyti aukštesnę nei 1500 ℃ temperatūrą, vakuuminio griebtuvo mazgas (įskaitant sandariklius ir korpusus) paprastai vertinamas iki 250 ℃ iki 400 ℃, priklausomai nuo sujungimo metodo.