Semicorex plokštelė epitaksiniam augimui yra svarbus elementas, specialiai sukurtas patenkinti epitaksinių procesų sudėtingumą. Pritaikomas pagal skirtingas specifikacijas ir pageidavimus, mūsų pasiūlymas pateikia individualiai pritaikytą sprendimą, kuris sklandžiai atitinka jūsų unikalius veiklos poreikius. Siūlome įvairias pritaikymo parinktis, nuo dydžio keitimo iki dangos pritaikymo variantų, todėl galime sukurti ir tiekti gaminį, galintį pagerinti našumą įvairiais taikymo scenarijais. Mes, Semicorex, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės plokštes epitaksiniam augimui, kurios suderina kokybę su ekonomišku efektyvumu.
„Semicorex“ plokštė epitaksiniam augimui, sukurta tiksliai palaikyti puslaidininkines plokšteles formuojant epitaksinį sluoksnį, yra būtina metalo organinio cheminio garų nusodinimo (MOCVD) sistemose. Jos strateginis vaidmuo yra palengvinti tolygų ir kontroliuojamą epitaksinių plėvelių plėtimąsi, užtikrinant vienodą kokybę visame plokštelės paviršiuje.
1. Sukurta atsižvelgiant į patvarumą, Epitaksinio augimo plokštelė yra tvirta platforma, kuri sumažina plokštelės judėjimo ar pažeidimo tikimybę, taip apsaugodama plokštelių vientisumą jautriose epitaksinės plėvelės kūrimo fazėse. Plokštelė epitaksiniam augimui veikia ne tik kaip atrama, bet ir kaip apatinio grafito skydas nuo agresyvių cheminių reakcijų ir susidėvėjimo, kurie gali atsirasti epitaksijos metu.
2. SiC dangos įterpimas ant plokštelės epitaksiniam augimui žymiai pagerina jos šilumines savybes, leidžia greitai ir subalansuotai paskirstyti šilumą, kuri yra būtina vienodam epitaksiniam sluoksniui susidaryti. Plokštės epitaksiniam augimui gebėjimas tolygiai sugerti ir išskirti šilumą užtikrina termiškai stabilią aplinką, palankią tiksliai nusodinti plonas plėveles – esminį veiksnį gaminant aukščiausios kokybės epitaksinius sluoksnius, nuo kurių priklauso pažangių puslaidininkių efektyvumas ir patikimumas.
3. Plokštelė epitaksiniam augimui padengta smulkiais SiC kristalais, todėl jos paviršius yra nepriekaištingai lygus, o tai labai svarbu subtiliai tvarkant plokšteles. Ši nesugadinta sąsaja sumažina bet kokį galimą paviršiaus užteršimą, nes plokštelės per visą procesą plačiai kontaktuoja su plokštele, kad galėtų augti epitaksiškai.
Apibendrinant galima pasakyti, kad Semicorex plokštės panaudojimas epitaksiniam augimui žada tvirtą veikimą ir ilgesnį tarnavimo laiką, sumažinant keitimo poreikį. Plokštė epitaksiniam augimui žymiai padidina produkcijos kalibrą, taip sumažindama veiklos prastovos ir priežiūros išlaidas, kartu padidindama gamybos efektyvumą.**