„Semicorex“ planetų jautrumas yra aukšto grynumo grafito komponentas su SiC danga, skirta AIXTRON G5+ reaktoriams, kad būtų užtikrintas vienodas šilumos pasiskirstymas, cheminis atsparumas ir aukšto tikslumo epitaksinis sluoksnio augimas.*
„Semicorex“ planetų jautrininkas yra nepakeičiamas puslaidininkių epitaksijos reaktorių komponentas, specialiai sukurtas „Aixtron G5+“ įrangai. Pastatytas iš aukšto grynumo grafito irpadengtas silicio karbidu (SIC), šis jautrininkas garantuoja puikų šiluminį stabilumą, išskirtinį cheminį atsparumą ir neprilygstamą našumą aukštos temperatūros aplinkoje.
„Aixtron G5+ Epitaxy“ reaktorius yra „Gan“, SIC ir kitų sudėtinių puslaidininkių augimo procesų etalonas. Planetinis jautrininkas yra pagrindinis optimizuodamas dujų srautą, užtikrindamas tikslų vaflių sukimąsi, palaikant tikslią temperatūros valdymą ir siekiant vienodos epitaksinių sluoksnių nusėdimo. Jo novatoriškas dizainas žymiai padidina proceso pakartojamumą, todėl jis yra idealus pasirinkimas didelės apimties gamybos aplinkoje.
Pagrindinės savybės
- Išplėstinė medžiagos sudėtis: pagaminta iš aukšto grynumo grafito su SIC danga, užtikrinant padidėjusį patvarumą ir atsparumą atšiaurioms proceso sąlygoms.
- Optimizuotas šiluminis našumas: užtikrinamas vienodas šilumos pasiskirstymas, kritinis didelio tikslumo epitaksinio sluoksnio augimui.
- Cheminis atsparumas: SiC danga apsaugo nuo grafito oksidacijos, prailginanti jautrininko gyvenimo trukmę ir palaiko proceso grynumą.
- Tikslioji inžinerija: skirta patenkinti griežtus „Aixtron G5+“ sistemų reikalavimus, užtikrinant sklandų integraciją ir optimalų reaktoriaus efektyvumą.
- Didelis paviršiaus vienodumas: sumažina dalelių užteršimą, palaikant aukštesnės vaflinės kokybės ir didesnį derlingumą puslaidininkių gamyboje.
Mūsų planetų jautrumo pranašumai
- Išplėstinis tarnavimo gyvenimas:SiC dangažymiai sumažina nusidėvėjimą, todėl sumažėja mažesnis pakeitimo dažnis ir sumažintos veiklos išlaidos.
- Patobulintas proceso stabilumas: užtikrinamas pastovus šildymas ir minimalūs šiluminiai gradientai, dėl kurių gaminamas aukštos kokybės vaflių gamyba.
- Suderinamumas ir pritaikymas: Galima rasti standartiniuose ir pritaikytuose dizainuose, kad atitiktų konkrečius „Aixtron G5+“ proceso reikalavimus.
GrafitasDalys vaidina nepakeičiamą ir labai svarbų vaidmenį puslaidininkių procese. Grafito medžiagų kokybė daro didelę įtaką gatavų produktų kokybei. Mūsų grafito partijos nuoseklumą ir medžiagų homogeniškumą galima valdyti ir garantuojami per gamybos procesą.
1. Maža partijos gamyba, karbonizacijos krosnis naudoja tik mažą krosnį, kurio krosnis yra tik 50 kubinių metrų
2. Kiekvienas medžiagos gabalas stebimas ir stebimas
3. Kelių taškų temperatūros stebėjimas krosnies erdvėje, siekiant užtikrinti, kad temperatūros skirtumas būtų išlaikytas labai mažame diapazone
4. Medžiagos kelių taškų temperatūros stebėjimas, siekiant užtikrinti, kad temperatūros skirtumas būtų išlaikytas labai mažame diapazone
„Semicorex“ planetinis jautrininkas yra aukščiausios klasės „Aixtron G5+“ reaktorių sprendimas, siūlantis išskirtinį šiluminį stabilumą, cheminį atsparumą ir tikslumą. Integruotas reikliausiems puslaidininkių gamybos procesams, jis padidina vaflių derlių, sumažina užteršimo riziką ir prailgina įrangos gyvenimo trukmę. Atnaujinkite „Epitaxy“ sistemą naudodami aukščiausio lygio jautrumą, kad gautumėte neprilygstamų rezultatų.