Monokristalinis silicio plokštelės susceptorius

Semicorex monokristalinis silicio plokštelės susceptorius yra idealus sprendimas grafito epitaksijos ir plokštelių apdorojimo procesams. Mūsų itin grynas produktas užtikrina minimalų užterštumą ir išskirtinį ilgaamžiškumą, todėl jis yra populiarus pasirinkimas daugelyje Europos ir Amerikos rinkų. Kaip pirmaujanti puslaidininkinių plokštelių laikiklių tiekėja Kinijoje, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų monokristalinio silicio epitaksinis susceptorius yra grafito gaminys, padengtas didelio grynumo SiC, kuris pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai. CVD silicio karbidu padengtas nešiklis naudojamas procesuose, kurie sudaro epitaksinį sluoksnį ant puslaidininkinių plokštelių. Jis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, kurios yra būtinos efektyviems ir tiksliems puslaidininkių gamybos procesams.
Viena iš pagrindinių mūsų monokristalinio silicio plokštelės susceptoriaus savybių yra puikus jo tankis. Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje. Silicio karbidu dengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą, o tai būtina norint išlaikyti aukštos kokybės plokštelių gamybą.
Kitas svarbus mūsų gaminio bruožas yra jo gebėjimas sumažinti šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio. Tai efektyviai pagerina sukibimo stiprumą, užkertant kelią įtrūkimams ir delaminacijai. Be to, tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, užtikrinančiomis tolygų šilumos pasiskirstymą gamybos proceso metu.
Mūsų monokristalinio silicio plokštelės susceptorius taip pat yra atsparus oksidacijai ir korozijai aukštoje temperatūroje, todėl yra patikimas ir patvarus gaminys. Jo aukšta lydymosi temperatūra užtikrina, kad jis gali atlaikyti aukštos temperatūros aplinką, reikalingą efektyviai puslaidininkių gamybai.
Apibendrinant galima pasakyti, kad „Semicorex“ monokristalinis silicio plokštelės susceptorius yra itin grynas, patvarus ir patikimas sprendimas grafito epitaksijos ir plokštelių apdorojimo procesams. Dėl puikaus tankio, paviršiaus lygumo ir šilumos laidumo jis idealiai tinka naudoti aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Didžiuojamės galėdami teikti aukštos kokybės produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės bendradarbiauti su jumis dėl visų puslaidininkinių plokštelių laikiklio poreikių.

Monokristalinio silicio plokštelės susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Monokristalinio silicio plokštelės susceptoriaus ypatybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai