Monokristalinis silicio epitaksinis susceptorius

Puikiai tinkantis grafito epitaksijos ir plokštelių apdorojimui, Semicorex itin grynas monokristalinio silicio epitaksinis susceptorius užtikrina minimalų užteršimą ir išskirtinai ilgą tarnavimo laiką. Mūsų gaminiai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Semicorex monokristalinis silicio epitaksinis susceptorius yra grafito gaminys, padengtas labai išgrynintu SiC, kuris pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai. CVD silicio karbidu padengtas nešiklis, naudojamas procesuose, kurie sudaro puslaidininkinių plokštelių epitaksinį sluoksnį, pasižymintį dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
Mūsų monokristalinio silicio epitaksinis susceptorius sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų monokristalinio silicio epitaksinį susceptorių.

Monokristalinio silicio epitaksinio susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Monokristalinio silicio epitaksinio susceptoriaus ypatybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.
- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.
- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.
- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.