MOCVD įleidimo žiedai

„Semicorex“ yra didelio masto silicio karbidu padengto grafito gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Mūsų MOCVD įleidimo žiedai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex“ tiekia MOCVD įleidimo žiedus, naudojamus nusodinimui ir plokštelių apdorojimui, kurie yra tikrai stabilūs RTA, RTP ar atšiauriam cheminiam valymui. Mūsų MOCVD įleidimo žiedai turi didelio grynumo silicio karbidu (SiC) dengtą grafito konstrukciją, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą, kad epi sluoksnio storis ir atsparumas būtų pastovus, ir patvarus cheminis atsparumas. Smulki SiC kristalinė danga suteikia švarų, lygų paviršių, kuris yra labai svarbus tvarkant, nes nesugadintos plokštelės liečiasi su susceptoriumi daugelyje taškų visoje savo srityje.

„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių MOCVD įleidimo žiedų teikimui, teikiame pirmenybę klientų pasitenkinimui ir teikiame ekonomiškus sprendimus. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu aukštos kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

MOCVD įleidimo žiedų parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300