LPE dalis

Semicorex LPE dalys yra didelio našumo SiC dengti komponentai, specialiai sukurti naudoti SiC epitaksijos procese. Šie komponentai yra sukurti taip, kad atlaikytų sudėtingas SiC kristalų augimo sąlygas, užtikrinant puikų terminį stabilumą, cheminį atsparumą ir mechaninį stiprumą. Renkantis Semicorex LPE dalis, jums garantuojamas išskirtinis patvarumas, tikslumas ir pritaikytas sprendimas jūsų SiC epitaksijos proceso poreikiams.

Semicorex LPE dalys yra pagamintos naudojant pažangias medžiagas ir tikslias gamybos technologijas, užtikrinančias kiekvieno įrenginio nuoseklumą ir patikimumą. Fizinėms ir cheminėms dangos savybėms keliami griežti atsparumo aukštai temperatūrai ir atsparumo korozijai reikalavimai, kurie tiesiogiai įtakoja gaminio išeigą ir tarnavimo laiką. SiC medžiaga pasižymi dideliu stiprumu, dideliu kietumu, mažu šiluminio plėtimosi koeficientu ir geru šilumos laidumu. Tai svarbi aukštos temperatūros konstrukcinė medžiaga ir aukštos temperatūros puslaidininkinė medžiaga. Jis taikomas grafito pagrindams. Jo pranašumai yra šie:

1) SiC yra atsparus korozijai ir gali visiškai apvynioti grafito pagrindą ir turi gerą tankį, kad būtų išvengta korozinių dujų žalos. 2) SiC pasižymi dideliu šilumos laidumu ir dideliu sukibimo stiprumu su grafito pagrindu, todėl danga nėra lengva nukristi po kelių aukštos ir žemos temperatūros ciklų. 3) SiC turi gerą cheminį stabilumą, kad būtų išvengta dangos gedimo aukštoje temperatūroje ir korozinėje atmosferoje. Be to, skirtingų medžiagų epitaksinėms krosnims reikia grafito padėklų su skirtingais veikimo rodikliais. Norint suderinti grafito medžiagų šiluminio plėtimosi koeficientą, reikia prisitaikyti prie epitaksinės krosnies augimo temperatūros. Pavyzdžiui, silicio karbido epitaksijos temperatūra yra aukšta, todėl reikalingas padėklas su aukšto šiluminio plėtimosi koeficiento atitikimu. SiC šiluminio plėtimosi koeficientas yra labai artimas grafito koeficientui, todėl jis yra tinkama medžiaga grafito pagrindo paviršiaus dangai.

Taikymas SiC epitaksijos procese

SiC epitaksijos procesas yra svarbus žingsnis gaminant aukštos kokybės SiC plokšteles, naudojamas puslaidininkiniams įrenginiams, įskaitant galios elektroniką ir optoelektroniką. LPE dalys, ypač su SiC dangomis, atlieka esminį vaidmenį tiksliai kontroliuojant temperatūrą ir chemines reakcijas reaktoriuje. Šie komponentai yra strategiškai išdėstyti reaktoriuje, kad būtų sudarytos palankesnės sąlygos optimaliam plokštelių augimui, kartu išlaikant SiC kristalų grynumą ir vienodumą.

„Semicorex“ supranta, kad kiekvienas SiC epitaksijos procesas turi unikalius reikalavimus. Štai kodėl mūsų LPE dalys gali būti visiškai pritaikytos pagal konkrečius jūsų veiklos poreikius. Nesvarbu, ar tai būtų dydis, forma ar dangos storis, mūsų inžinierių komanda glaudžiai bendradarbiauja su klientais, kad pristatytų komponentus, optimizuojančius jų gamybos procesus.

Aukštos kokybės SiC danga, padengta mūsų dalimis, taip pat užtikrina puikų patvarumą. Skirtingai nuo įprastų medžiagų, SiC užtikrina ilgesnį tarnavimo laiką atšiauriomis eksploatavimo sąlygomis, todėl sumažėja techninės priežiūros ir prastovų dažnis. Dėl šio ilgaamžiškumo puslaidininkių gamintojams sumažėja eksploatacinės išlaidos ir padidėja efektyvumas.

Semicorex LPE dalys yra suprojektuotos tiksliai ir suprojektuotos taip, kad atitiktų griežtus SiC epitaksijos proceso reikalavimus. Mūsų komponentai gaminami naudojant naujausias technologijas, užtikrinančias neprilygstamą našumą ir ilgaamžiškumą. Pasirinkdami Semicorex, jūs pasirenkate partnerį, kuris supranta puslaidininkių gamybos sudėtingumą ir yra įsipareigojęs tiekti patikimus, aukštos kokybės produktus, kurie padidina jūsų gamybos galimybes.

Semicorex LPE dalys su jųSiC danga, yra idealus pasirinkimas siekiant pagerinti SiC epitaksinių reaktorių veikimą ir ilgaamžiškumą. Šie komponentai užtikrina puikų šiluminį stabilumą, cheminį atsparumą ir mechaninį stiprumą, užtikrindami, kad jūsų SiC kristalų augimo procesas vyktų sklandžiai ir efektyviai. Turėdami tinkinimo parinktis, Semicorex siūlo pritaikytą sprendimą, atitinkantį jūsų konkrečius proceso reikalavimus, todėl esame patikimi puslaidininkių gamintojų partneriai visame pasaulyje.