„Semicorex“ horizontalios silicio karbido valtys yra būtini horizontalūs plokščių laikikliai pažangiausiuose puslaidininkių gamybos procesuose, kurie yra tiksliai pagaminti iš aukščiausios kokybės puslaidininkių silicio karbido. Turėdama plačias ir laiko patikrintas gamybos galimybes, „Semicorex“ savo išskirtiniams klientams gali pasiūlyti labai suderinamas, pagal užsakymą sukurtas horizontalias silicio karbido valtis.
Semicorex horizontaliaisilicio karbido valtysyra vientisai suformuoti naudojant 3D spausdinimo technologiją, o po to gaminami sukepinant aukštoje temperatūroje. Šie komponentai yra sukurti taip, kad atitiktų įvairių dydžių aukštos temperatūros horizontalias krosnis, todėl jie plačiai naudojami siekiant tvirtai užtikrinti plokštelių sulaikymą kritiniuose aukštos temperatūros puslaidininkių gamybos procesuose, įskaitant difuziją, oksidaciją ir cheminį nusodinimą garais.
| Savybės |
Semicorex horizontalios silicio karbido valtys |
| Tūrinis tankis |
3,05 g/cm³ |
| Dalelės |
3 μm |
| Lenkimo stiprumas |
260 MPa |
| Suspaudimo stiprumas |
500 MPa |
| Šiluminio plėtimosi koeficientas (kambario temperatūra iki 1000 ℃) |
4,3*10-6 |
| Grynumas |
5,38 ppm |
| Tempimo modulis |
354 Gpa |
| Šilumos laidumas |
135 W/(m·K) |

Neprilygstamas medžiagos stiprumas ir kietumas suteikia Semicorex horizontalioms silicio karbido valtims puikią atraminę galią, kuri leidžia stabiliai nešti kelias plokšteles vienu metu. Tiksliai apdirbant plyšius, Semicorex horizontalios silicio karbido valtys gali tvirtai pritvirtinti ir saugiai laikyti puslaidininkines plokšteles. Tolygiai išdėstyta lizdo struktūra užtikrina, kad plokštelės išlaikytų fiksuotą padėtį viso apdorojimo ciklo metu, taip užtikrinant puslaidininkių gamybos procesų nuoseklumą ir tikslumą.
Dėl puikaus atsparumo aukštai temperatūrai ir atsparumo korozijai Semicorex horizontalios silicio karbido valtys gali atlaikyti griežtas eksploatavimo sąlygas, tokias kaip aukštos temperatūros deguonies, azoto arba mažos koncentracijos vandenilio chlorido atmosfera. Šios išskirtinės medžiagos savybės gali veiksmingai užkirsti kelią korozijai ir žalai, kurią sukelia aukštos temperatūros korozinės dujos, kurios labai pailgina valčių eksploatavimo laiką.
Skirtingai nuo įprastų silicio karbidu dengtų grafito valčių, Semicorex horizontalios silicio karbido valtys yra pagamintos iš puslaidininkių, labai grynų.silicio karbidas(99,999%) su itin mažu priemaišų kiekiu. Šis aukščiausios kokybės medžiagų pasirinkimas pašalina teršalų išsiskyrimo ar dangos nusilupimo riziką, net kai susiduriama su aukšta temperatūra ir atšiauriomis korozinėmis sąlygomis. Be to, kiekviena mūsų silicio karbido valtis prieš pakuojant vakuume yra išvaloma ultragarsu, o tai garantuoja pažangių puslaidininkių gamybos procesų reikalaujamų švaros standartų laikymąsi.