Horizontalios kvarcinės valtys

Horizontalios kvarcinės valtyspuslaidininkinės plokštelės paprastai laikomos horizontaliai terminio apdorojimo įrangos krosnies vamzdžiuose, šildomuose išoriniais šildymo prietaisais. Jie plačiai naudojami sudėtinguose aukštos temperatūros korozinių puslaidininkių terminio apdorojimo procesuose, tokiuose kaip terminė oksidacija, aukštos temperatūros difuzijos, atkaitinimo ir cheminio nusodinimo garais (CVD) procesai.

Semicorex horizontalių kvarcinių vaflinių valčių funkcijos

1.Stabilus laikymas ir tvirtinimas

Semicorex horizontalios kvarcinės plokštelės turi puikią laikomąją galią ir gali nuolat pasiūlyti stabilią kelių puslaidininkinių plokštelių atramą. O jų optimizuotas išorinis dizainas ir tiksli lizdo struktūra užtikrina kiekvienąvaflįyra puikiai pritvirtintas ir tvirtai pritvirtintas ant horizontalių kvarcinių plokštelių valčių, o tai žymiai sumažina plokštelių įbrėžimus ir susidūrimus, atsirandančius dėl kratymo, poslinkio ir pasvirimo transportavimo ir gamybos procesų metu.

2.Procesų vienodumo pagalba

Horizontalių kvarcinių plokštelių valčių vienodo atstumo plyšių struktūra leidžia tvarkingai išdėstyti puslaidininkines plokšteles, taip sukuriant stabilų ir sklandų dujų srauto lauką aukštos temperatūros krosnyse. Konstrukcinis dizainas užtikrina nuoseklų kontaktą su dujomis ir reakcijos greitį kiekviename plokštelės paviršiuje, taip efektyviai sumažinant įvairius defektus, atsirandančius dėl netolygaus šildymo ir diferencinio dujų kontakto, pvz., nepilną plokštelės oksidaciją, netolygų plonos plėvelės nusodinimą ir dopingo koncentracijos nuokrypį.

3.Ilgas tarnavimo laikas

Dėl aukščiausios kvarcinės medžiagos atsparumo aukštai temperatūrai, Semicorex horizontalios kvarcinės valtys gali ilgą laiką atlaikyti aukštą 1100–1200 ℃ temperatūrą be deformacijų ar lydymosi.Kvarcasyra chemiškai inertiškas dujoms, dažniausiai naudojamoms puslaidininkių procesuose, tokioms kaip deguonis, azotas ir vandenilio chloridas. Šis išskirtinis cheminis inertiškumas gali sumažinti proceso dujų korozijos riziką, labai pailginti tarnavimo laiką ir sumažinti įrangos keitimo laiką bei išlaidas.