Horizontalios kameros krosnies valtys

„Semicorex“ horizontalios kameros krosnys SiC valtys yra labai sukurta dalis, kurioje yra ir nešiojamos vafliai ar substratai, kol jas veikia aukštos temperatūros šiluminis perdirbimas horizontalioje kameros krosnyje. Vaflinė valtis yra pagaminta iš didelio grynumo, surišto Silicio karbidas (sic), kuris suteikia unikalų stiprumo, šiluminio stabilumo ir didelio cheminio atsparumo derinį, kurio reikalaujama puslaidininkių, fotoelektrinių ir pažangių keramikos procesuose. Vaflių valtis taip pat veikia kaip griežta struktūra, leidžianti laikyti vaflius padėtyje, matmenų stabilumas ir vaflių tikslumas neprarandama išplėstos ekstremalios proceso temperatūros poveikis.

Aukščiausios silicio karbido savybės suteikia horizontalios kameros krosnies krosnies valčių pranašumą, palyginti su tipiškomis vaflinių valčių, tokių kaip kvarco ar aliuminio oksido, medžiagos. Jie gali geriau atlaikyti nedažną trumpalaikį šildymo ir aušinimo ciklus dėl jų aukšto lydymosi taško, šiluminio smūgio atsparumo ir mechaninio stiprumo, neatsižvelgiant į tai, koks yra šildymas ir aušinimas ar šiluminio ciklo. Kadangi horizontali krosnis visiškai priklauso nuo vaflių padėties nuoseklumo ir proceso sąlygų veikimo, tinkamai suderinant vaflius, užtikrinamas nuoseklus proceso derlius ir pakartojamumas. Mažas šiluminio išsiplėtimo koeficientas reiškia, kad valtis per savo eksploatavimą nenukreips ir užtikrins sulaikytą vaflių formą ir tarpus.

Puikiai grūdėta, tanki perkristalizuotos SIC struktūra suteikia nepaprastą atsparumą oksidacijai, korozijai ir užteršimui proceso dujomis ir šalutiniais produktais. Dėl to valtis ypač naudinga agresyvios atmosferos procesams, tokiems kaip difuzija, oksidacija, LPCVD ir atkaitinimas. Didelis SIC cheminis inertiškumas išvengia reakcijų su vaflių paviršiais, taip išsaugant produkto grynumą ir sumažinant kietųjų dalelių susidarymą krosnyje. SIC valtys gali padėti gamintojams, kuriems reikia patenkinti griežtus švaros reikalavimus, užtikrinant švaresnę perdirbimo aplinką ir pagerintą vaflių kokybę.

Šios valtys gali būti gaminamos su įvairiomis sudėtingomis geometrijomis ir konkrečiomis dalimis būdingais matmenimis su tikslaus apdirbimo ir formavimo metodais. Paprastai dizainai naudoja kelis lygiagrečius laiko tarpsnius/griovelius, kad vafliukai būtų tvirtai laikomi horizontalioje orientacijoje ir vienodai atskleidžia visą vaflinio paviršių šiluminėmis sąlygomis. Tarpus nuo lizdo iki liejimo ir kampai taip pat gali būti optimizuoti taip, kad tilptų kitų skersmens vaflius, tokius kaip 150 mm, 200 mm arba 300 mm, ir tiesioginį oro srautą perdirbimo efektų metu, vis dar pasiekiant temperatūros vienodumą perdirbimui.

Horizontalios kameros krosnies SIC valtys ne tik gali būti suprojektuotos standartiniuose išvykimo metu, bet ir gali būti suprojektuotos taip, kad galėtų dirbti su automatiniais vaflių krautuvais, todėl sklandžiai integruota į šiuolaikines didelio pralaidumo gamybos linijas. Tvirtas dizainas taip pat leis valtis mažiau tikėtina susmulkinti ar sulaužyti tvarkymo metu ir sumažinti prastovų ir pakeitimų išlaidas.

Šilumos laidumasSilicio karbidasyra dar vienas svarbus pranašumas, palengvinantis efektyvų šilumos perdavimą tarp vaflių ir krosnies aplinkos. Privalumas yra tas, kad gamintojai gali pasiekti vienodesnes apdorojimo sąlygas ir sutrumpinti ciklo laiką, o tai gali padidinti gamybos efektyvumą. SIC valtys suteikia nuoseklių ir pakartojamų rezultatų, nesvarbu, ar jos naudojamos puslaidininkių plokštelių gamybai, saulės elementų gamybai, ar kitoms pažangioms medžiagų perdirbimui aukštesnėje temperatūroje.

Apibendrinant galima pasakyti, kad horizontalios kameros krosnies SIC valtys yra pagrindinis komponentas gamintojams, norintiems gaminti vaflius, turinčius aukštos kokybės, ilgalaikius ir užterštus vaflinius vaflius. Jis turi mechaninį stiprumą, šiluminį stabilumą ir cheminį inertiškumą, kuris yra neprilygstamas horizontaliose krosnyse. Pasirinkdami silicio karbido valtis, operatoriai gali panaudoti geresnę proceso valdymą, didesnį derlių ir sumažinti eksploatavimo pertraukimus dėl priežiūros. Apskritai tai užtikrina efektyvesnius, ekonomiškesnius kūrinius.