GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

„Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck“ yra neatsiejama puslaidininkių gamybos dalis, suteikianti galimybę stabiliai ir patikimai palaikyti svarbius procesus, tokius kaip nusodinimas, ėsdinimas ir litografija. „GaN-on-Si Epi Wafer Chuck“ užtikrina efektyvų šilumos išsklaidymą, išlaikant vienodą temperatūros pasiskirstymą plokštelėje, kad būtų išvengta terminių gradientų, galinčių sukelti defektus. „GaN-on-Si Epi Wafer Chuck“ yra įvairių dydžių ir konfigūracijų, kad atitiktų skirtingus plokštelių matmenis ir apdorojimo reikalavimus, todėl siūlo lankstumą įvairiems puslaidininkių gamybos poreikiams.

Programos:

Epitaksinis augimas: GaN-on-Si Epi Wafer Chuck suteikia stabilią platformą aukštos kokybės GaN sluoksnių augimui ant silicio pagrindo, o GaN-on-Si Epi Wafer Chuck yra būtinas didelio našumo elektroniniams ir optoelektroniniams įrenginiams.

Išgraviravimas ir nusodinimas: Palengvina vienodą medžiagos pašalinimą arba nusodinimą – tai raktas norint pasiekti norimas prietaisų struktūrines ir elektrines savybes.

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck yra nepakeičiamas įrankis puslaidininkių gamintojams, siekiantiems gaminti pažangiausius GaN pagrindu pagamintus įrenginius, pasižyminčius neprilygstamu tikslumu, stabilumu ir ilgaamžiškumu.