ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck naudoja elektrostatines jėgas, kad išlaikytų tikslų plokštelės padėties valdymą, užtikrinant aukštą tikslumą ir pakartojamumą puslaidininkių gamybos aplinkoje. ESC griebtuvo konstrukcija kartu su tvirtu medžiagų pasirinkimu ir pritaikytais matmenimis daro jį universaliu ir esminiu įrankiu atliekant tokius procesus kaip ėsdinimas, nusodinimas ir jonų implantavimas.

ESC griebtuvas veikia taikydamas aukštos įtampos elektrostatinį lauką tarp griebtuvo elektrodų ir plokštelės, sukurdamas patrauklią jėgą, kuri laiko plokštelę vietoje. Plokštelė, paprastai pagaminta iš silicio arba silicio karbido, yra apsaugota šia jėga, todėl galima tiksliai veikti didelio vakuumo aplinkoje. Ši sistema nereikalauja mechaninio suspaudimo ar vakuuminio griebimo, dėl kurio gali patekti teršalų arba iškreipti plokštelę. Naudodami ESC griebtuvą, gamintojai gali pasiekti švaresnę, stabilesnę aplinką subtiliems gamybos procesams, o tai leidžia pasiekti didesnį derlių ir nuoseklesnius rezultatus.

Vienas iš pagrindinių ESC technologijos pranašumų yra jos gebėjimas tvirtai sukibti su plokštele ir tolygiai paskirstyti jėgą jos paviršiuje. Tai užtikrina, kad plokštelė išliks plokščia ir stabili, o tai labai svarbu norint pasiekti vienodą ėsdinimą arba nusodinimą, ypač procesuose, kuriuose reikalingas submikroninis tikslumas. Pritaikomi ESC griebtuvo matmenys leidžia sutalpinti įvairaus dydžio plokšteles, nuo standartinių 200 mm ir 300 mm plokštelių iki specializuotų, nestandartinių dydžių, naudojamų tyrimams ir plėtrai arba nišinių puslaidininkinių prietaisų gamyboje.

Medžiagos, naudojamos ESC griebtuvo konstrukcijoje, yra kruopščiai parinktos, kad būtų užtikrintas suderinamumas su atšiauriomis aplinkomis, kurios paprastai būna apdirbant puslaidininkius. Didelio grynumo keramikos aliuminio oksidas naudojamas dėl puikių elektros izoliacinių savybių, terminio stabilumo ir atsparumo plazminei korozijai. Šios savybės leidžia griebtuvui efektyviai veikti tiek aukštos temperatūros, tiek didelio vakuumo sąlygomis, užtikrinant ilgaamžiškumą ir patikimumą, reikalingą ilgalaikiam naudojimui švarioje patalpoje.

Tinkinimas yra dar vienas svarbus ESC griebtuvų pranašumas. Atsižvelgiant į konkrečius puslaidininkių gamybos proceso reikalavimus, griebtuvo matmenys, elektrodų konfigūracijos ir medžiagų sudėtis gali būti pritaikyti taip, kad atitiktų unikalius apdorojamos įrangos ir plokštelių poreikius. Nesvarbu, ar naudojamas plazminis ėsdinimas, cheminis nusodinimas garais (CVD), ar fizinis nusodinimas garais (PVD), ESC griebtuvas gali būti sukurtas taip, kad būtų optimizuotas veikimas ir išlaikytas plokštelės vientisumas apdorojimo metu.