Elektrostatinis griebtuvas

Naudojant didelio grynumo aliuminio oksido keramiką, „Semicorex Electrostatic Cuck“ užtikrina aukščiausios klasės našumą nustatymuose, kuriuose pirmenybė teikiama tikslumui, stabilumui ir švarai. Aliuminio oksidas, dar žinomas kaip aliuminio oksidas (Al2O3), yra keraminė medžiaga, garsėjanti išskirtinėmis elektros izoliacinėmis savybėmis, dideliu šilumos laidumu ir išskirtiniu mechaniniu stiprumu. Dėl šių savybių jis yra ideali medžiaga elektrostatiniam griebtuvui statyti, sukurta taip, kad atlaikytų sudėtingas puslaidininkių apdorojimo sąlygas. Aliuminio oksido keramikos ESC sukurtas taip, kad atlaikytų aukštą temperatūrą, korozinę aplinką ir mechaninį įtempį apdorojant ir apdorojant plokšteles, o tai atlieka lemiamą vaidmenį užtikrinant puslaidininkinių įtaisų derlingumą ir kokybę.

Pagrindinis elektrostatinio griebtuvo principas yra elektrostatinė jėga, naudojama patikimai laikyti plokštelę vietoje. Ši jėga sukuriama taikant įtampą elektrodams, įterptiems į keraminę medžiagą. Sąveika tarp elektrostatinio lauko ir indukuotų krūvių plokštelės paviršiuje sukuria stiprią suspaudimo jėgą, kuri laiko plokštelę prie griebtuvo paviršiaus. Aliuminio oksido keramikos ESC konstrukcija užtikrina, kad ši suspaudimo jėga būtų tolygiai paskirstyta plokštelėje, taip sumažinant paslydimo ar pažeidimo riziką apdorojimo metu.

Vienas iš pagrindinių aliuminio oksido keramikos naudojimo elektrostatinio griebtuvo konstrukcijoje privalumų yra jos išskirtinės elektros izoliacinės savybės. Didelis aliuminio oksido dielektrinis stiprumas leidžia naudoti aukštą įtampą be elektros gedimo pavojaus, o tai labai svarbu norint išlaikyti elektrostatinio lauko vientisumą. Tai ypač svarbu tokiuose procesuose kaip plazminis ėsdinimas arba cheminis nusodinimas garais, kai plokštelė yra veikiama labai reaktyvioje aplinkoje ir bet koks suspaudimo jėgos pasikeitimas gali sukelti plokštelės defektus arba sugadinimą.

Be elektrinių savybių, aliuminio oksido keramika pasižymi puikiu šilumos laidumu, kuris yra būtinas norint valdyti puslaidininkių apdorojimo metu susidarančią šilumą. Elektrostatinio griebtuvo gebėjimas efektyviai išsklaidyti šilumą padeda palaikyti stabilią temperatūrą visoje plokštelėje ir sumažina šiluminius gradientus, kurie gali sukelti deformaciją ar kitokį terminį įtampą. Šis terminis stabilumas yra labai svarbus siekiant užtikrinti procesų, tokių kaip fotolitografija, tikslumą ir pakartojamumą, kai net nedideli temperatūros nukrypimai gali turėti įtakos rezultatui.