E-Chukas

Semicorex E-Chuck yra Kulono tipo ESC, pagamintas iš didelio grynumo aliuminio oksido, pasižymintis išskirtiniu našumu įvairiose įrangose, įskaitant ėsdinimo mašinas, jonų implantavimo sistemas, fizinį nusodinimą garais (PVD) ir cheminio nusodinimo garais (CVD) sistemas. . Pagrindinė jo funkcija yra saugiai laikyti plokšteles svarbių procesų metu, užtikrinant tikslumą, patikimumą ir didesnį našumą.


Kulono tipo elektrostatinio griebtuvo veikimo principas pagrįstas elektrostatiniu potraukiu. Kai elektrostatiniam griebtuvui taikoma aukštos įtampos nuolatinė srovė (DC), tarp keramikinio dielektrinio sluoksnio ir laikomo gaminio, pavyzdžiui, puslaidininkinės plokštelės, atsiranda poliarizacija. Sukuriamos elektrostatinės jėgos sukuria tvirtą, tačiau švelnų plokštelės laikymąsi, leidžiančią jai išlikti savo vietoje net esant puslaidininkių gamybos procesams būdingomis didelės spartos ir didelio įtempimo sąlygomis. Semicorex E-Chuck konstrukcijoje naudojama didelio našumo aliuminio oksido medžiaga yra puiki dielektrinė terpė šiam tikslui dėl puikių izoliacinių savybių ir didelės šiluminės varžos.

Svarbiausias Kulono tipo E-griebtuvo aspektas yra jo gebėjimas palaikyti nuoseklų ir vienodą kontaktą tarp plokštelės ir griebtuvo paviršiaus. Tai užtikrina, kad plokštelės būtų saugiai laikomos įvairiuose proceso etapuose, pavyzdžiui, ėsdinimo, nusodinimo ar jonų implantavimo metu. Didelis griebtuvo konstrukcijos tikslumas garantuoja tolygų jėgos pasiskirstymą plokštelėje, o tai labai svarbu norint pasiekti aukštos kokybės puslaidininkių gamyboje reikalingą produkciją. Be to, šis tikslus laikymo mechanizmas užtikrina minimalų judėjimą ar slydimą eksploatacijos metu, užkertant kelią defektams ar plokštelėms, kurios dažnai yra trapios ir brangios, sugadinimo.

„Semicorex E-Chuck“ siūlo keletą pagrindinių savybių, todėl jis yra idealus pasirinkimas puslaidininkių gamybai. Pirma, vidiniai griebtuvo elektrodai užtikrina saugų ir patikimą plokštelių fiksavimą net ir atšiaurioje plazmos aplinkoje, būdingoje ėsdinimo ir nusodinimo procesams. Šis fiksavimo metodas yra labai svarbus norint išlaikyti plokštelių išlyginimą ir stabilumą, o tai tiesiogiai veikia proceso tikslumą ir galutinio puslaidininkinio produkto kokybę.

Kita svarbi savybė – integruoti šildytuvai, leidžiantys tiksliai valdyti plokštelės temperatūrą apdorojimo metu. Puslaidininkių gamybos procesams dažnai reikalingos specifinės šiluminės sąlygos, kad būtų pasiektos norimos medžiagos savybės arba ėsdinimo charakteristikos. „Semicorex E-Chuck“ turi kelių zonų temperatūros valdymą, kuris užtikrina nuoseklų ir vienodą plokštelės kaitinimą, užkertant kelią šiluminiams gradientams, dėl kurių gali atsirasti defektų ar nevienodų rezultatų. Šis temperatūros kontrolės lygis yra ypač svarbus tokiuose procesuose kaip CVD ir PVD, kur vienodas medžiagų nusodinimas yra būtinas aukštos kokybės plonoms plėvelėms gaminti.

Be to, didelio grynumo aliuminio oksido naudojimas gaminant E-Chuck sumažina dalelių užterštumą, o tai kelia didelį susirūpinimą puslaidininkių gamyboje. Net ir nedideli užteršimo kiekiai gali sukelti galutinio produkto defektų, dėl kurių sumažės derlius ir padidės sąnaudos. Mažai dalelių generavimo Semicorex E-Chuck charakteristika užtikrina, kad plokštelė išliks švari viso proceso metu, o tai padeda gamintojams pasiekti didesnį derlių ir didesnį gaminio patikimumą.

E-Chuck taip pat sukurtas taip, kad būtų labai atsparus plazmos erozijai, o tai yra dar vienas svarbus jo veikimo veiksnys. Vykdant tokius procesus kaip ėsdinimas plazmoje, kai plokštelės yra veikiamos labai reaktyviomis jonizuotomis dujomis, pats griebtuvas turi atlaikyti šias atšiaurias sąlygas, nesuardydamas ir neišskirdamas teršalų. Dėl plazmai atsparių aliuminio oksido savybių, naudojamų Semicorex E-Chuck, jis idealiai tinka tokioms reiklioms aplinkoms, užtikrinant ilgalaikį patvarumą ir pastovų veikimą ilgą laiką.

Taip pat vertas dėmesio Semicorex E-Chuck mechaninis stiprumas ir didelio tikslumo apdirbimas. Atsižvelgiant į subtilų puslaidininkinių plokštelių pobūdį ir mažus gamyboje reikalaujamus nuokrypius, labai svarbu, kad griebtuvas būtų pagamintas laikantis griežtų standartų. Itin tiksli E-Chuck forma ir paviršiaus apdaila užtikrina, kad plokštelės laikosi saugiai ir tolygiai, sumažinant sugadinimo ar apdorojimo neatitikimų riziką. Dėl šio mechaninio tvirtumo, kartu su puikiomis šiluminėmis ir elektrinėmis savybėmis, Semicorex E-Chuck yra patikimas ir universalus sprendimas įvairiems puslaidininkių procesams.

„Semicorex E-Chuck“ yra sudėtingas sprendimas sudėtingiems puslaidininkių gamybos reikalavimams. Dėl Kulono tipo elektrostatinio suspaudimo, didelio grynumo aliuminio oksido konstrukcijos, integruotų šildymo galimybių ir atsparumo plazmos erozijai jis yra nepakeičiamas įrankis siekiant didelio tikslumo ir patikimumo tokiuose procesuose kaip ėsdinimas, jonų implantavimas, PVD ir CVD. Dėl savo pritaikomo dizaino ir tvirto veikimo Semicorex E-Chuck yra idealus pasirinkimas gamintojams, norintiems padidinti savo puslaidininkių gamybos linijų efektyvumą ir našumą.