Individualus SiC konsolinis irklas

„Semicorex Custom SiC Contiver Paddle“ yra pagrindinė grandis tarp plokštelių įkrovimo sistemos ir difuzinės krosnies širdies, atsakingos už kvarcinių arba SiC plokštelių, prikrautų silicio plokštelėmis, transportavimą į aukštos temperatūros apdorojimo zoną. Jų dizainas ir medžiagos savybės yra kruopščiai optimizuotos šiai sudėtingai užduočiai:

Tvirta konsolinė konstrukcija stabiliam plokštelių transportavimui:Konsolinis dizainas, pasižymintis standžia rankena, besitęsiančia į krosnį, užtikrina išskirtinį stabilumą ir tikslų plokštelės judėjimo valdymą. Tai užtikrina sklandų ir be vibracijos transportavimą, sumažindama plokštelių lūžimo ar nesutapimo riziką pakraunant ir iškraunant.

Didelė apkrova efektyviam paketiniam apdorojimui:SiC keramikai būdingas stiprumas ir tvirtumas leidžia pritaikytam SiC konsoliniam irklui pritaikyti dideles silicio plokštelių apkrovas, maksimaliai padidinant kiekvieno difuzijos ciklo pralaidumą ir prisidedant prie didesnių gamybos apimčių.

Tikslus matmenų valdymas sklandžiam integravimui: Individualizuotas SiC konsolinis irklas yra kruopščiai pagamintas pagal tikslias matmenų specifikacijas, užtikrinant puikų pritaikymą difuzijos krosnies sistemoje ir palengvinant sklandų integravimą su automatizuotais plokštelių tvarkymo robotais.

SiC keramikos pasirinkimas, ypačReakciniu būdu surištas silicio karbidas (RBSiC)irSukepintas silicio karbidas (SSiC), kadangi pasirinkto SiC konsolinio irklo medžiaga pasirenkama dėl išskirtinių eksploatacinių savybių aukštos temperatūros aplinkoje:

Nenutrūkstamas stabilumas aukštoje temperatūroje: Individualizuotas SiC konsolinis irklas pasižymi išskirtiniu atsparumu deformacijai ir šliaužimui net esant aukštesnei temperatūrai (iki 1600 °C), kuri yra difuzinėse krosnyse. Tai užtikrina nuoseklų plokštelės atramą ir apsaugo nuo įdubimo ar lenkimo, dėl kurio gali būti pažeistas plokštelių vienodumas.

Išskirtinis atsparumas šiluminiam smūgiui:Gebėjimas atlaikyti greitus temperatūros pokyčius be žalos yra labai svarbus norint išlaikyti individualų SiC konsolinės irklo vientisumą per daugybę difuzijos ciklų. SiC keramika šiuo požiūriu yra puiki, nes sumažina įtrūkimų ar lūžimų riziką, dėl kurios gali tekti brangiai kainuoti prastovos.

Mažas terminis plėtimasis tiksliam išlygiavimui:Minimalus SiC keramikos šiluminis plėtimasis užtikrina, kad pritaikytas SiC konsolinis irklas išlaiko savo matmenų stabilumą plačiame veikimo metu patiriamo temperatūros diapazone. Tai labai svarbu norint išlaikyti tikslų plokštelių išlygiavimą krosnyje, užtikrinant vienodą kaitinimą ir nuoseklius difuzijos profilius.