„Semicorex“ tiekia puslaidininkinę keramiką jūsų OĮG pusgamybos įrankiams ir plokštelių tvarkymo komponentams, daugiausia dėmesio skiriant silicio karbido sluoksniams puslaidininkių pramonėje. Jau daugelį metų esame keraminių plokštelių laikiklio gamintojai ir tiekėjai. Mūsų gaminiai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Silicio karbido keramikos plokštelių laikiklis turi gerą atsparumą korozijai ir puikų atsparumą aukštai temperatūrai bei šiluminiam smūgiui. Be to, didelis elastingumo modulis užtikrina puikų matmenų stabilumą. Be to, keraminės medžiagos poringumas yra nulinis ir porų tankis yra mažas.
Galime apdoroti visų rūšių keraminių plokštelių laikiklius pagal klientų reikalavimus.
Keraminių plokštelių laikiklio parametrai
Techninės savybės |
||||
Rodyklė |
Vienetas |
Vertė |
||
Medžiagos pavadinimas |
Reakcinis sukepintas silicio karbidas |
Beslėgis sukepintas silicio karbidas |
Rekristalizuotas silicio karbidas |
|
Sudėtis |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Tūrinis tankis |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Lankstumo stiprumas |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80–90 (20 °C) 90–100 (1400 °C) |
Suspaudimo stiprumas |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Kietumas |
Mygtukas |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Šilumos laidumas |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifinė šiluma |
Džaulis/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maksimali oro temperatūra |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastinis modulis |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
„Semicorex“ pagamino trijų formų keramines plokštelių laikiklį: reakcinį sukepintą silicio karbidą (RBSiC), beslėgį sukepintą silicio karbidą (SSiC) ir recrystalinį silicio karbidą (R-SiC).
Skirtumas tarp SSiC ir RBSiC:
1. Sukepinimo procesas skiriasi. RBSiC turi prasiskverbti laisvą Si į silicio karbidą žemoje temperatūroje, SSiC susidaro natūraliai susitraukiant 2100 laipsnių temperatūroje.
2. SSiC turi lygesnį paviršių, didesnį tankį ir didesnį stiprumą, kai kuriems sandarinimams, kuriems taikomi griežtesni paviršiaus reikalavimai, SSiC bus geresnis.
3. Skirtingas naudojimo laikas esant skirtingam PH ir temperatūrai, SSiC yra ilgesnis nei RBSiC
Keraminio vaflių laikiklio savybės
Didelio grynumo SiC padengtas grafitas
Aukščiausias atsparumas karščiui ir šiluminis vienodumas
Smulkiu SiC kristalu padengtas lygiam paviršiui
Didelis atsparumas cheminiam valymui
Medžiaga sukurta taip, kad neatsirastų įtrūkimų ir delaminacijos.
Galimos silicio karbido keramikos formos:
● Keraminis strypas / keraminis kaištis / keraminis stūmoklis
● Keraminis vamzdis / keraminė įvorė / keraminė mova
● Keraminis žiedas / keraminė poveržlė / keraminė tarpinė
● Keraminis diskas
● Keraminė plokštė / keraminis blokas
● Keraminis rutulys
● Keraminis stūmoklis
● Keraminis antgalis
● Keraminis tiglis
● Kitos pagal užsakymą pagamintos keraminės dalys