Keraminiai fokusavimo žiedai puslaidininkiams

Semicorex keramikafokusavimo žiedass puslaidininkiams yra idealūs sprendimai, pritaikyti atšiaurioms plazminio ėsdinimo darbo sąlygoms. Atliekant sudėtingą puslaidininkių ėsdinimo procesą, labai svarbu tiksliai kontroliuoti plazmos pasiskirstymą, kuris gali užtikrinti ėsdinimo kameros stabilumą ir nuoseklų puslaidininkių ėsdinimo vienodumą. Fokusavimo žiedai, kaip būtini komponentai, naudojami pažangioje ėsdinimo įrangoje, paprastai yra išdėstyti aplink puslaidininkines plokšteles ir tiesiogiai su jais liečiasi. Fokusavimo žiedų veikimas daro tiesioginį poveikį proceso pakartojamumui, produkto išeigai ir įrangos veikimo laikui.

Semicorex keraminių fokusavimo žiedų, skirtų puslaidininkiams, privalumai

1.Ypatingai aukštas medžiagų grynumas

Mūsų grynumasCVD SiCmedžiaga viršija 99,9995%. Tai gali veiksmingai užkirsti kelią ėsdinimo kameros ir puslaidininkinių plokštelių užteršimui dėl nepakankamo medžiagos grynumo.

2.Išskirtinis atsparumas korozijai

Semicorex keraminiai puslaidininkių fokusavimo žiedai yra pagaminti iš CVD SiC, pasižymintys puikiu atsparumu oksidacijai, erozijai ir cheminei korozijai, ypač veiksmingi prieš proceso dujas, tokias kaip HF ir HCI, taip pat plazmines dujas.

3. Puikus atsparumas

Puslaidininkių Semicorex keraminių fokusavimo žiedų varžos vienodumas yra mažesnis nei 5%.

Atsparumo diapazonai: mažos skiriamosios gebos. (<0,02 Ω·cm), vidurinė skiriamoji geba. (0,2–25 Ω·cm), didelės raiškos (>100 Ω·cm).

Semicorex keraminių fokusavimo žiedų, skirtų puslaidininkiui, funkcijos

1.Kontroliuokite ir suvienodinkite krašto elektrinį lauką ir plazmos pasiskirstymą

Puslaidininkių keraminiai fokusavimo žiedai „Semicorex“ gali valdyti elektrinio lauko pasiskirstymą ėsdinimo kameroje ir pasiekti vienodesnį plazmos apvalkalą aplink puslaidininkines plokšteles, leidžiančius plazmai vertikaliai ir vienodai atsitrenkti į plokštelės paviršių. Tokiu būdu galima labai sumažinti ėsdinimo krašto efektą ir žymiai pagerinti ėsdinimo tikslumą.

2.Apsaugokite elektrostatinį griebtuvą

Be fokusavimo žiedų apsaugos ėsdinimo procese elektrostatinis griebtuvas bus veikiamas didelės energijos plazmos bombardavimo ir erozijos. Elektrostatiniai griebtuvai yra pagaminti iš brangių medžiagų, kurių pakeitimo išlaidos yra ypač didelės. Naudojant fokusavimo žiedus galima efektyviai sumažinti elektrostatinio griebtuvo plazmos koroziją ir sumažinti elektrostatinio griebtuvo priežiūros bei keitimo išlaidas.