„Semicorex“ teikia plokštelių valtis, pjedestalus ir pasirinktinius plokštelių laikiklius tiek vertikaliai / stulpeliui, tiek horizontaliai. Jau daugelį metų esame silicio karbido dengimo plėvelės gamintojai ir tiekėjai. Mūsų „Batch Wafer Boat“ turi gerą kainos pranašumą ir apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
„Semicorex Batch Wafer Boat“ yra pagaminta iš aukštos kokybės silicio karbido keraminės medžiagos, užtikrinančios puikų cheminį atsparumą ir terminį stabilumą.
Mūsų „Batch Wafer Boat“ paviršius yra lygus ir puikiai palaiko ir apsaugo plokšteles apdorojimo metu. SiC danga užtikrina vienodumą ir stabilumą apdorojimo metu, apsaugodama plokšteles nuo užteršimo ir pažeidimų. Dėl puikaus šilumos laidumo ir puikaus mechaninio stiprumo mūsų plokštelių laikikliai užtikrina nuoseklius ir patikimus rezultatus.
Mūsų ekspertų komanda yra įsipareigojusi teikti geriausią kokybę ir paslaugas. Siūlome individualų dizainą, kad atitiktų jūsų konkrečius reikalavimus, o mūsų partijos vaflių valtys yra paremtos mūsų kokybės užtikrinimo programa.
Batch Wafer Boat parametrai
Techninės savybės |
||||
Rodyklė |
Vienetas |
Vertė |
||
Medžiagos pavadinimas |
Reakcinis sukepintas silicio karbidas |
Beslėgis sukepintas silicio karbidas |
Rekristalizuotas silicio karbidas |
|
Sudėtis |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Tūrinis tankis |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Lankstumo stiprumas |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80–90 (20 °C) 90–100 (1400 °C) |
Suspaudimo stiprumas |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Kietumas |
Mygtukas |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Šilumos laidumas |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Šiluminio plėtimosi koeficientas |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Specifinė šiluma |
Džaulis/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maksimali oro temperatūra |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastinis modulis |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Skirtumas tarp SSiC ir RBSiC:
1. Sukepinimo procesas skiriasi. RBSiC turi prasiskverbti laisvą Si į silicio karbidą žemoje temperatūroje, SSiC susidaro natūraliai susitraukiant 2100 laipsnių temperatūroje.
2. SSiC turi lygesnį paviršių, didesnį tankį ir didesnį stiprumą, kai kuriems sandarinimams, kuriems taikomi griežtesni paviršiaus reikalavimai, SSiC bus geresnis.
3. Skirtingas naudojimo laikas esant skirtingam PH ir temperatūrai, SSiC yra ilgesnis nei RBSiC
Batch Wafer Boat savybės
- Didelis stiprumas (Moho kietumas 9,5, antras po deimantų)
- Atsparumas korozijai rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams tirpikliams
- Didelis šilumos laidumas, atsparumas plazmai, ilgas tarnavimo laikas
- Puslaidininkiai