Aliuminio vaflių poliravimo plokštės

Semicorex aliuminio oksido plokštelė poliravimo plokštėsyra tiksliai apdirbtos dalys, pagamintos iš didelio grynumo aliuminio oksido izostatinio presavimo, sukepinimo aukštoje temperatūroje ir precizinio apdirbimo būdu. Jie idealiai tinka tiksliam poliravimui, kai keliami itin aukšto paviršiaus tikslumo ir efektyvumo reikalavimai, ypač puslaidininkių plokštelių poliravimui, nes aliuminio oksido keramika pasižymi išskirtinėmis fizinėmis ir cheminėmis savybėmis.

---

Ilgas tarnavimo laikas užtikrina puikų atsparumą dilimui

Didelis atsparumas dilimui yra būtinas vaflių poliravimo plokštėms, naudojamoms didelio tikslumo apdirbimui. Aliuminio oksido keramikos kietumas pagal Mosą yra apie 9, antrasis po deimantų ir silicio karbido, todėl plokštelės poliravimo plokštės gali atlaikyti didelės spartos ir didelės trinties eksploatavimo sąlygas puslaidininkinių plokštelių poliravimo metu ir su mažu nusidėvėjimo nuostoliu. Dėl šio puikaus atsparumo nusidėvėjimui aliuminio oksido plokštelių poliravimo plokštės pasižymi ilgaamžiškumu, todėl žymiai sumažėja įrangos išjungimo dažnis siekiant pakeisti ir sumažėja priežiūros bei pakeitimo išlaidos.

Išskirtinis šiluminis stabilumas ir atsparumas aukštai temperatūrai

Aliuminio oksidasDėl išskirtinio terminio stabilumo ir atsparumo aukštai temperatūrai plokštelės gali išlaikyti savo fizines savybes ir trinties savybes 1000 ℃ aukštoje temperatūroje. Jie tinka dirbti aukštoje temperatūroje dėl dažnos trinties, efektyviai išvengiant šiluminės deformacijos ir padeda išlaikyti pastovų poliravimo paviršių.

Patikimas atsparumas cheminei korozijai

Aliuminio plokštelių poliravimo plokštės pasižymi patikimu atsparumu cheminei korozijai. Jie gali atlaikyti daugumą rūgščių ir šarmų, taip pat įprastus cheminius poliravimo tirpalus, naudojamus CMP procese. Jų paviršiaus lygumo nepakenks cheminė korozija, taip paveikdama puslaidininkinių plokštelių paviršiaus kokybę.

---

Semicorex Alumina vaflių poliravimo plokščių pritaikymas

1.Puslaidininkinių plokštelių poliravimas

Aliuminio plokštelių poliravimo plokštės yra plačiai naudojamos silicio, SiC, safyro ir įvairių plokštelių substratų šlifavimui, grubiam poliravimui ir galutiniam poliravimui. Dėl itin mažo šiurkštumo ir nanoskalės paviršiaus plokštumo aliuminio oksido plokštelių poliravimo plokštės gali idealiai atitikti griežtus pažangių puslaidininkių procesų, tokių kaip ėsdinimas ir litografija, paviršiaus kokybės reikalavimus.

2.Vaflių ploninimas ir kraštų poliravimas

Plokščių ploninimo proceso metu aliuminio oksido plokštelių poliravimo plokštės gali būti naudojamos tiksliai kontroliuoti plokštelių storį ir tolygiai pašalinti užpakalines medžiagas. Kraštų poliravimo procese aliuminio oksido poliravimo plokštės taip pat gali padėti pasiekti optimalią plokštelės krašto kokybę, pašalindamos plokštelių briaunų įbrėžimus ir defektus.