Aliuminio oksido roboto ranka

„Semicorex“ aliuminio oksido roboto rankena yra aukštos kokybės keraminė dalis, skirta vaflių tvarkymo ir perdavimo užduotims gamybai gaminti puslaidininkį. Pagaminta iš didelio grynumo aliuminio oksido keramikos (Al₂o₃), ši robotinė ranka suteikia lankstumo, tikslumo, patikimumo ir ilgaamžiškumo švariuose kambariuose.

Tai, kas išsiskiria aliuminio oksido roboto rankos naudai, yra savybėsAliuminio oksido keramikaMechaninis stiprumas ir kietumas. Asaliuminio oksidasyra padarytas grynesnis, aliuminio oksidas palaiko geresnį struktūrinį vientisumą ir daro jį atsparesnį mechaniniam nusidėvėjimui ir deformacijai. Kaip medžiaga, aliuminio oksidas yra puikus pasirinkimas robotinėms dalims, naudojamoms subtilioms ir pasikartojančioms vaflių valdymo užduotims, t. Y. Kai roboto ranka turi atlikti tą pačią funkciją ir susisiekti su vafliais, kad nedideli iškraipymai, kuriuos roboto rankos vafliui pritaikė vafliui, gali kainuoti nuostolius. Didelis kietumas, t. Y. Sandarūs paviršiai, gali padėti atsparumui abrazyviniam atsparumui ir funkciniam tarnavimui, t. Y. Išlaikant tarnavimo/ pakaitalo gyvybę ir trukmę robotiniame komponente.

Be mechaninio ilgaamžiškumo, aliuminio oksido roboto rankena taip pat yra puikus elektros izoliatorius. Atsparumas yra iki 10antu Ω · cm, o izoliacijos stiprumas yra iki 15 kV/mm kambario temperatūroje, todėl perdirbimo įrangoje reikia sumažinti daug saugesnę aplinką, ypač kai trukdantys elektriniai signalai turi būti sumažinami. Tai tampa svarbu saugant jautrius puslaidininkių komponentus, perkeliančius iš procesų, turinčių minimalią elektrostatinės iškrovos (ESD) pažeidimo riziką.

Aliuminio oksido keramika puikiai palaiko stabilumą labai aukštoje temperatūroje. Lydymosi taškas yra apie 2050 ° C ir atlaikys aukštą puslaidininkio šiluminio perdirbimo temperatūrą be deformacijos ar matmenų tikslumo. Didelis atsparumas šilumai leidžia naudoti ARM procesuose, tokiuose kaip greitas šiluminis atkaitinimas (RTA) arba cheminis garų nusėdimas (CVD), kai tikslus suderinimas ir šiluminis stabilumas yra kritiniai.

Vienas iš kitų reikšmingų aliuminio oksido roboto rankos pranašumų yra jos inertiškumas. Jo paviršius yra inertiškas daugumai valymo agentų ir apdoroja dujas, naudojamas puslaidininkių gamyboje. Todėl jis liks be užteršimo ir neprisidės prie vaflių paviršiaus užteršimo. Šis cheminis inertiškumas yra labai svarbus norint pasiekti ypač valomas gamybos sąlygas ir užtikrinti nuoseklų įrenginio veikimą.

Aliuminio oksido keramikataip pat yra prieinamas puslaidininkių įrankių pasirinkimas. Jis lengvai prieinamas kaip žaliava, o aliuminio oksido keramikos apdirbimo procesai yra gerai suprantami ir lengvai keičiami. Tai leidžia atkuriamiems ir nuosekliems aukštos kokybės dalių nuokrypiams gaminti už konkurencingą kainą. Dėl našumo ir įperkamumo aliuminio oksido robotų rankos yra ideali OEM ir puslaidininkių Fabs, kur jums reikia patikimų automatizavimo komponentų, kurie nesugadina banko.

Apibendrinant galima pasakyti, kad aliuminio oksido robotų rankena suteikia aukštą mechaninį našumą, aukštą dielektrinį našumą, didelį šiluminį pasipriešinimą, aukštą cheminį našumą - visa tai yra įrodyta gaminant už ekonominę kainą. Bendrai šios veiklos charakteristikos daro ją patikimą ir veiksmingą tikslaus vaflių tvarkymo programas puslaidininkių gamyboje, leidžiančias pagerinti derlių, galimai sumažinti užteršimo riziką ir pagerinti bendrą įrangos efektyvumą.